예스티 “HPSP의 온도제어장치 특허와 다른 구성 판정”

특허심판원, 심판청구 각하
“예스티와 HPSP 특허와 구체적으로 대비”

[이데일리 박철근 기자] 반도체 장비업체 예스티(122640)와 HPSP(403870)와 진행했던 특허 분쟁이 마무리됐다.

예스티는 29일 “특허심판원은 28일 HPSP의 냉각장치 특허에 대한 소극적권리범위확인심판에서 예스티의 온도제어장치 구조(확인대상발명)가 HPSP의 특허와 다르다”며 “HPSP도 이를 인정하고 다툴 의사가 없으므로 확인의 이익이 없어 심판청구를 각하했다”고 밝혔다.

심결문에 따르면 예스티의 확인대상발명이 HPSP의 특허발명과 대비할 수 있게 구체적으로 특정됐고 확인대상발명이 HPSP의 특허발명의 권리범위에 속하지 않는다고 판단했다.

다만 심판과정에서 HPSP도 확인대상발명이 HPSP 특허 권리범위에 속하지 않는다는 것을 인정하고 향후에도 이를 다투지 않겠다고 명확히 밝힘에 따라 예스티에 이 특허에 관한 법적 불안이 보이지 않는다고 심결했다.

예스티는 지난 4월28일 HPSP가 제기한 고압어닐장비 잠금장치에 대한 특허(027 특허) 침해와 관련한 소극적권리범위확인심판에서 예스티의 구조가 HPSP 특허와 다르다는 심결을 받았다.

예스티는 027 특허와 별도로 HPSP의 다른 특허와 관련한 분쟁에 선제적으로 대응하기 위해 HPSP의 주요 특허 5건에 대해 특허무효심판(3건) 및 소극적권리범위 확인심판(2건)을 청구했다. 지난 2월 HPSP의 냉각장치 관련 특허와 관련해 예스티의 구조가 HPSP의 구조와 다르다는 판정을 받았다. 이번에 온도제어장치와 관련된 특허에 대해서도 동일한 판정을 받았다.

예스티 관계자는 “나머지 3건의 특허무효심판에 대해서도 심리를 진행중”이라며 “향후 특허와 관련된 분쟁가능성을 사전에 차단해 나갈 것”이라고 말했다.

한편 예스티는 고압어닐장비와 관련해 2023년부터 국내, 일본 및 중화권의 글로벌 고객사들과 다양한 평가를 진행하고 있다. 현재 고객사와 장비 수주에 관한 절차가 진행되고 있어 올해 하반기 장비 수주를 예상하고 있다.

박철근 (konpol@edaily.co.kr)