미세공정에 주목받는 'E-빔' 검사…KLA “고객 수요 증가”

KLA 전자빔(E-Beam) 검사 장비 'eSL10'.

미세공정 심화가 전자빔(e-beam) 기반 검사 장비 수요를 촉발하는 것으로 알려졌다. 기존 광학 장비로는 감지하기 어려운 결함까지 잡아내야 하는 정밀도가 요구되기 때문이다.

미국 반도체 검사 장비업체 KLA는 최근 실적 발표에서 전자빔 검사 장비 수요가 급증하고 있다고 밝혔다. 릭 월리스 KLA 최고경영자(CEO)는 “전자빔 플랫폼이 고성능을 발휘하기 시작했고, 고객들이 이를 실제로 평가할 기회를 가졌다”며 “고객들이 우리에게 '더 달라'고 요청하고 있다”고 말했다. 이어 “지난해부터의 장비 수요 증가로 전자빔 장비의 생산능력도 늘린 상태”고 덧붙였다.

전자빔 검사는 전자빔을 시료(웨이퍼)에 조사해 반사된 신호를 분석함으로써 수나노미터(㎚) 수준의 극미세 결함을 감지할 수 있다. 광학 검사 대비 해상도가 월등히 높지만, 검사 속도가 느리고 장비 가격이 높은 단점이 있어 주로 연구개발(R&D)이나 결함 분석에 사용돼 왔다.

그러나 3㎚ 이하 공정노드, 게이트 올 어라운드(GAA) 트랜지스터 등 반도체 구조가 복잡해지면서 전자빔 기반의 고감도 검사가 필요해졌다. R&D뿐 아니라 궁극적으로 양산라인에서의 수요까지 불러일으킨 것이다. KLA는 고객사들이 첨단 공정에서 전자빔 장비와 광학 장비를 함께 병행 사용하고 있다고 설명했다.

KLA는 구체적 고객사를 밝히지 않았으나 TSMC, 삼성 파운드리 등 첨단공정을 보유한 반도체 위탁생산(파운드리) 업체일 것으로 보인다.

윌리스 CEO는 “고객사로부터 긍정적 피드백을 받고 있다”며 “전자빔 검사장비 사업이 성장 궤도에 올라왔다고 확신한다”고 말했다.

박진형 기자 jin@etnews.com