애플트리, 반도체 소부장 국산화 촉진…'전도·내열성↑'식각부품 개발

"기업의 꿈, 용인시산업진흥원과 함께하면 현실이 된다"…③김기재 애플트리 대표 인터뷰

[편집자주] 경기 용인특례시가 첨단 산업도시로 도약한다. 용인시산업진흥원은 지역 산업진흥기관으로서 중소·벤처기업의 혁신 성장을 지원하는 핵심 파트너 역할을 수행하고 있다. 초기 창업부터 인재 양성, 국내외 판로개척, 신산업 육성, 기술 혁신 지원, 투자 유치 활성화에 이르기까지 기업별 맞춤형 지원을 펼친다. 머니투데이는 이와 관련한 우수 기업 사례를 6회에 걸쳐 소개한다.

김기재 애플트리 대표./사진=이민호기자

"미래 기술은 얼마나 작고 빠르고 똑똑한 '반도체'를 구현하는가에 달려 있습니다. 반도체 핵심 공정인 식각(Etching)에 대한 기술력으로 부품 국산화를 이끌겠습니다."

반도체는 인공지능(AI), 스마트폰, 자율주행차 등 관련 산업이 발전하면서 점점 더 초소형·고성능을 요구한다. 머리카락 굵기의 1/10도 안 되는 미세한 공간에 전기를 흐르게 할 초정밀 회로를 설계하는데, 층층이 쌓인 금속·절연층마다 불필요한 부분은 잘라내고 불순문을 제거하는 작업이 '식각'이다.

반도체는 우리나라 경제를 이끄는 수출 효자 산업이다. 산업부에 따르면 지난 1월까지 9개월 연속 100억달러 이상의 실적을 기록했다. 그러나 소재·부품·장비(이하 소부장)의 수입 의존도가 높아 공급망 리스크는 아직 존재한다. 이를 위해 정부는 '제1차 공급망안정화 기본계획'을 수립해 수입의존도를 2030년까지 50% 이하로 줄이는 것을 목표로 하고 있다.

반도체 부품 전문 제조업체 '애플트리'는 2009년 설립해 식각 장비에 들어가는 소모성 부품인 '실리콘 샤워헤드'와 '고성능 개스킷'을 개발·생산하고 있다. 미국·독일·일본·동남아 등지에 수출하며 전체 매출의 70% 정도를 해외에서 창출한다.

수출국을 설명 중인 김 대표./사진=이민호기자

김기재 대표는 7일 "반도체 초미세 공정에서 수율 1% 차이로 대기업의 실적을 좌우한다. 식각 설비의 핵심 부품 성능이 반도체 제조 전반에 큰 영향을 준다"면서 "회로가 미세해질수록 균일한 플라즈마 분사와 정밀한 온도 제어가 필수"라고 설명했다.

애플트리의 실리콘 샤워헤드는 반응성 가스를 균일하게 분사해 수율을 높인다. 개스킷은 고온 환경에서 열을 안정적으로 분산시켜 공정 불량을 최소화한다. 이와 관련한 특허 2건을 보유, 대만·싱가포르 등 해외 특허도 출원해 기술 경쟁력을 높이고 있다.

반도체는 아주 작은 정전기나 전류 누설에도 망가질 수 있는데, 애플트리 샤워헤드에는 전기가 잘 통하도록 접착하는 기술(전도성 본딩)을 적용했다. 먼지 발생을 최소화해주는 파티클(미세 불순물) 저감용 원바디 구조의 제품도 개발했다. 이들 제품은 글로벌 반도체 장비 기업의 인증을 통과해 공급하고 있다.

지난해 애플트리는 용인시산업진흥원의 소부장 고도화 지원사업을 통해 기존보다 2배 높은 열전도율(2.5→5.0W/mK)을 갖춘 고성능 방열 개스킷 개발에 성공했다. 해당 제품은 현재 고객사 테스트를 마무리 중이며, 내년 양산을 앞두고 있다.

김 대표는 "회사 설립 전 외국계 반도체 설비 회사에서 15년 동안 일했던 경험이 있다. 단순 부품 제조업체에서 벗어나 고객사와 소통하고 품질·기술 상담도 해주며 신뢰를 쌓아가는 것이 가장 큰 경쟁력"이라면서 "HBM을 비롯해 2나노, 3나노 등 반도체 진화에 따라 설비에 들어가는 부품들도 진화해야 한다. 직원들과 함께 성장하는 회사가 되도록 최선을 다하겠다"고 밝혔다.

이어 "우리 같은 소기업이 성장하려면 지역 기반의 지원이 필요하다. 용인시산업진흥원은 생각에만 그쳤던 아이디어를 실현할 수 있도록 도와줬다"면서 "용인시가 반도체 메카로 부상하는 가운데, 고객사들이 속속 몰려오고 있어 시간 싸움인 반도체 시장의 입지적 장점을 기대하고 있다"고 덧붙였다.

경기=이민호 기자 leegija@mt.co.kr