아스타, 반도체사업 신규 진출

반도체공정 ‘가스 질량분석기 양산성능평가’ 국책과제 선정

반도체공정용 가스질량 분석시스템.

아스타가 반도체산업 도전에서 핵심단계에 진입했다. 아스타는 OLED검사장비(디스플레이), 2차전지 검사장비 등의 산업용 분석장비를 개발해 세계 1위의 기업에 공급해 왔다.

14일 아스타에 따르면, 반도체공정용 분석기기의 양산 테스트를 시작했다. 반도체 분야로 사업을 확대하는 중요한 전기를 마련한 것이다.

최근 산업통상자원부의 ‘반도체공정 실시간 진단 및 모니터링용 가스질량 분석시스템 양산성능평가 사업’에 선정됐다. 아스타는 비행시간형(TOF) 질량분석 기술을 바탕으로 반도체 생산공정에 최적화된 고감도 실시간 기체 분석장비를 개발했다. 이미 개발된 장비를 세계적 반도체 기업에서 양산평가를 하게 됐다고 설명했다.

이번 사업은 반도체 제조공정에서 사용되는 기체들을 실시간으로 고정밀 모니터링할 수 있는 질량분석시스템의 양산 성능을 평가한다. 이어 생산현장에 적용 가능한지 확인한다. 국내 공인 인증기관을 통해 장비의 기초성능을 인증 검사를 하고, 이어 반도체기업에서 현장 성능평가를 할 예정이다.

아스타가 개발한 GM-TOF는 기존 사중극자 방식의 잔류가스 분석기(RGA)에 비해 빠른 검출속도와 높은 감도가 특징. 변화가 민감한 반도체공정에 보다 유연하게 대응할 수 있다. 특히, 부품이 모듈화 기반으로 표준화돼 있어 장비 유지보수나 고장 시 기존 외산장비처럼 오랜 시간을 기다릴 필요 없이 수 시간 내 수리가 가능하다고 회사 측은 설명했다. 이에 따라 가동률을 크게 높일 수 있다고도 했다.

아스타 관계자는 “클라우드 기반 TOF-MS 기술을 활용한 장비로 뛰어난 가격경쟁력과 우수한 품질로 수입장비를 대체하게 된다. 글로벌 시장 진출도 본격화할 계획”이라고 밝혔다.

이어 “반도체공정에서 발생하는 잔류가스를 기존보다 빠르고 정밀하게 중앙 및 현장에서 실시간 모니터링할 수 있는 시스템을 구축 중이다. 이를 2025~2026년 내 실제 생산현장에 적용하는 게 목표”라 말했다.