호리바에스텍코리아㈜, 국내 기업 EtaMax Co.,Ltd. 인수합병

< (왼쪽부터) EtaMaxtk CEO 정현돈 대표이사, 호리바 제작소 이사 겸 호리바 에스텍 대표이사 HORIBA DAN 사장 / 호리바에스텍코리아㈜ 제공 >

호리바에스텍코리아㈜가 반도체 시장의 웨이퍼 검사 장치를 개발·제조·판매하는 EtaMax Co.,Ltd.(이하 EtaMax사)를 인수·합병했다고 8일 밝혔다.

호리바에스텍코리아㈜는 HORIBA 그룹의 한국 반도체 산업 비즈니스를 담당하고 있는 회사다.

이번 인수·합병으로 HORIBA 그룹이 지속적으로 연구·개발해온 분광 기술과 EtaMax사에서 보유하고 있는 화합물 반도체 웨이퍼 결함 검사에 대한 풍부한 경험과 소프트웨어 기술을 융합해, 웨이퍼 검사 장치의 라인업을 확충하고 솔루션 제안력을 강화하는 것을 목표로 한다. 또한 이를 통해 화합물 반도체 웨이퍼 장비 수율 개선과 품질 관리의 고도화에 공헌할 계획이다.

세계적으로 전기차와 AI 보급에 대한 데이터센터의 수요가 확대되면서, 최근 차세대 파워 반도체라고 불리는 화합물 반도체 채택 움직임이 활발해지는 추세다. 단, 화합물 반도체는 높은 성능과 내구성을 자랑하는 대신 제조 프로세스에 있어 웨이퍼의 결함에 의한 수율 저하가 발생할 수 있으므로 정확하고 효율적인 검사가 필수다.

< EtaMax사 전경 / 호리바에스텍코리아㈜ 제공 >

호리바에스텍코리아㈜가 인수·합병을 진행하는 EtaMax사의 주요 사업 분야는 샘플이 특정한 파장의 빛을 흡수하고, 그 후 방출하는 빛을 측정해 결함이나 불순물 등의 정보를 취득하는 분석 기술인 ‘포토루미네센스(Photoluminescence)’이다. 이는 화합물 반도체 웨이퍼의 균일성 평가 및 미세한 결함의 종류를 판별하는 등 다양한 애플리케이션에 강점이 있다.

이에 HORIBA 그룹은 본 인수·합병을 통해 EtaMax사가 보유하고 있는 소프트웨어 기술과 HORIBA 그룹의 라만 분광법(샘플에 빛을 조사해 산란하는 빛을 검출하는 방법으로 분자의 구조 및 성질 등을 평가하는 분석 기술) 및 엘립소메트리(샘플에 대한 입사광과 반사광의 진동 변화를 측정해 물질의 두께나 성질 등을 읽어 내는 분석 기술) 등 코어 기술에 의한 시너지로 신제품 개발과 솔루션 제안력 강화를 가속할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

호리바에스텍코리아㈜ 관계자는 “HORIBA 그룹은 중장기 경영 계획인 ‘MLMAP2028’에서 2028년까지 첨단소재·반도체 사업 분야 매출 2350억엔(한화 약 2조3500억원)의 성장을 목표로 하고 있다”라며 “이에 따라 “지속 가능한 사회 실현을 위한 첨단 재료 반도체 분야의 혁신적인 솔루션으로 시장을 형성한다”라는 비전을 실현하면서, 반도체 제조 프로세스의 개선에 공헌하는 포괄적인 분석 솔루션 제공을 통해 화합물 반도체 웨이퍼 검사 장치의 연구·개발을 강화하고 있다”라고 설명했다.

HORIBA 그룹은 이번 Etamax 사를 인수 합병하면서 2024년 자체 개발한 전자동 박막검사장치 ‘Xtrology’에 Etamax의 ‘포토루미네센스’ 분석 기술로 소프트웨어에 관한 기술의 융합을 목표로 하고 있다.

또한 HORIBA가 기존에 보유하고 있는 라만 분석 기술의 두 가지 기술을 융합하여, 반도체 제조 프로세스 모니터링에 있어 포괄적인 솔루션 제안을 강화하고, 양사의 기술 강점을 융합한 신제품을 개발 예정을 통해 HORIBA는 향후 반도체 제조 프로세스에 있어 고객의 다양한 분석 및 측정 요구에 대응해 나아가겠다고 밝혔다.