디에스테크노, 내열성 높은 'CVD-SiC 웨이퍼 보트' 국산화

디에스테크노가 화학 기상 증착-탄화규소(CVD-SiC) 웨이퍼 보트와 튜브를 국산화하는데 성공했다. 고온 공정 증가에 따라 수요가 늘어나는 소모성 부품으로 공급 확대가 기대된다.

10일 업계에 따르면 디에스테크노는 해외 전력반도체 장비사에 CVD-SiC 웨이퍼 보트 양산 및 공급을 시작했다. 회사는 웨이퍼 보트와 함께 쓰이는 튜브 품질 평가도 진행 중으로 연내 양산에 돌입할 계획이다.

웨이퍼 보트는 반도체 공정 장비 내에서 다수의 웨이퍼를 고정하는 부품이다. 여기에 튜브로 씌운 뒤 고온, 고진공 환경을 만들어 공정을 진행한다.

CVD-SiC 부품 수요가 발생한 건 공정 온도 증가 때문이다. 일반적으로 고온 공정은 1000도 미만이었으나, 전력반도체를 중심으로 고온 공정 온도가 최대 2000도까지 상승했다. CVD-SiC는 기존에 업계에서 쓰이던 반응성 결합-탄화규소(RB-SiC)보다도 내구성·내열성이 더 우수한 소재다.

CVD-SiC 웨이퍼 보트·튜브는 일본 페로텍, 미국 쿠어스텍 등 외국 기업이 기술 개발을 주도해왔는데 디에스테크노가 국내 기업 중 처음으로 시장에 진입하게 됐다.

그동안 국내 CVD-SiC 소모성 부품 개발은 웨이퍼를 고정하는 포커스링, 가스를 웨이퍼에 균일한 두께로 분산·증착하는 샤워헤드에 집중된 것으로 전해졌다.

디에스테크노는 기존 쿼츠 웨이퍼 보트와 튜브를 생산한 노하우를 기반으로 CVD-SiC 웨이퍼 보트와 튜브 개발을 2023년 시작했다. 전력반도체에서의 수요에 선제 대응해 6~8인치 제품 개발을 먼저 진행했고, 현재 12인치 제품도 개발 중에 있다. 시스템반도체도 선단 공정을 중심으로 온도가 높아지고 있어서다.

회사는 올해 CVD-SiC 웨이퍼 보트와 튜브를 40세트 가량 출하할 것으로 예상하고 있다. 3~4개월 사용 가능한 소모성 부품인만큼 수요는 점진적으로 더 늘어날 것이라고 설명했다. 세계 시장 규모는 약 4000억~6000억원 규모로 추산된다.

디에스테크노는 장비사뿐 아니라 반도체 제조사에도 직접 부품을 공급해 매출을 극대화할 방침이다. 이미 기술력을 인정받아 삼성전자, 인텔 등으로부터 전략적 투자까지 이끌어낸 데 따른 자신감이다.

회사 관계자는 “전기차(EV) 시장이 캐즘 국면에 있으나 인공지능(AI), 데이터센터 등으로 인해 전력반도체 시장 성장이 지속될 것”이라며 “이에 맞춰 CVD-SiC 제품군을 다양화하는 과정에 있다”고 말했다.

박진형 기자 jin@etnews.com