반도체 검사장비업체 펨트론, HBM 공정용 검사장비 상용화

국내 종합 반도체 회사와 장비사용 계약 체결

펨트론이 개발한 고대역폭메모리(HBM) 검사장비. [사진 제공=펨트론]

반도체 검사장비를 제조하는 펨트론은 신규 고대역폭메모리(HBM) 검사장비 ‘8800WIR HBM’의 상용화에 본격 나섰다.

2일 펨트론은 “HBM 공정용 검사장비의 품질테스트가 이달 시작될 예정”이라며 “테스트를 진행하는 HBM 검사장비는 HBM의 수율 안정화를 위한 장비로 현재는 비교 대상군이 없는 신규 장비”라고 밝혔다. 세밀한 3D로 구현해 측정·검사를 하기 위해 개발된 세계 최초의 장비라는 게 회사 쪽 설명이다.

펨트론 관계자는 “국내 종합 반도체 회사와 이미 장비 사용 계약을 진행했으며, 내년 2분기 내 품질 테스트가 완료될 것”이라며 “테스트가 끝나는 시점부터 본격적인 공급이 이뤄질 것으로 기대한다”고 말했다.

반도체 웨이퍼 검사는 반도체 제조의 핵심적인 부분으로, 웨이퍼 품질을 검사하고 결함을 식별하는 장비를 포함한다. 특히 고성능 반도체 소자와 미세공정, 그리고 인공지능(AI) 기술 발전은 웨이퍼 검사 장비 수요를 더욱 확대시킬 것으로 전망되고 있다. 반도체 웨이퍼 검사장비 시장은 지난해까지 연평균 6% 성장률을 보였다.

펨트론 관계자는 “AI와 고대역폭메모리 반도체 흐름에 맞춰 이에 맞는 검사장비 개발에 주력하고 있다”며 “이번 테스트를 기반으로 글로벌 반도체 기업들과 추가적인 수주를 확보할 수 있을 것”이라고 말했다. 실제 펨트론은 최근 미국 글로벌 종합 반도체 기업으로부터 메모리 모듈 검사장비 첫 수주를 받음과 동시에 추가 공급 논의도 진행하고 있다.

한편 펨트론은 최첨단 3D 검사 융합 솔루션 전문기업으로 △반도체 패키지와 웨이퍼 검사장비 △표면실장 기술(SMT) 검사장비 △2차전지 검사장비(리드 탭 검사와 제조 장비)를 비롯한 주요 제품을 제조·판매하는 사업을 하고 있다.