에이아이비즈, 16번째 특허 취득..'웨이퍼맵 AI 패턴분류'

제조 공정진단 AI(인공지능) 솔루션 기업 에이아이비즈(대표 하승재)가 '웨이퍼맵의 패턴을 분류하기 위한 모델 학습 방법, 장치 및 프로그램' 특허를 취득했다고 14일 밝혔다. 업체에 따르면 이는 AI 공정 등과 관련한 16번째 특허다.

이번 특허는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼맵의 결함 패턴을 AI로 학습, 자동 분류하는 기술이다. 해당 AI 모델은 새로운 결함 패턴에 지속 적응할 수 있는 재학습 기능을 갖춰 공정 데이터 업데이트 시마다 성능이 향상된다. 제조 공정의 안정성과 생산성을 높이는 데 중점을 둔 기술이라고 에이아이비즈 측은 말했다.

에이아이비즈는 이 외에도 '복수 영상 데이터 활용 이상 탐지' 및 '공정 설비 비정상 동작 감지' 등 다양한 공정진단 기술 특허를 보유하고 있다. 이를 통해 공정의 시계열 데이터를 실시간 분석해 이상 상황을 탐지하고 작업자의 주관적 오류를 줄인다. 특히 AI 기반 자동화 진단 솔루션을 제조 산업에 적용, 생산성과 품질관리 효율성을 높이고 있다.

하승재 에이아이비즈 대표는 "공정진단 AI 기술 고도화로 제조 공정의 품질을 높이고 산업 효율성을 극대화하겠다"며 "제조업 디지털 전환 및 AI 기술 혁신을 통해 글로벌 시장 경쟁력을 강화할 것"이라고 말했다.

사진제공=에이아이비즈

이유미 기자 youme@mt.co.kr