日 반도체 EUV 포토레지스트 업체, 韓 생산기지 구축

반도체 선단공정 필수소재 EUV 포토레지스트…2026년부터 양산

[아이뉴스24 박지은 기자] 일본 첨단소재 전문기업 JSR이 반도체 극자외선(EUV) 공정의 핵심 소재인 메탈포토레지스트를 한국에서 생산한다.

12일 산업통상자원부에 따르면 JSR은 이날 충북 청주에 자리한 메탈포토레지스트 생산공장 기공식을 개최했다.

반도체 12인치 웨이퍼.[사진=아이뉴스24 DB]

이 자리에는 김대자 산업부 무역투자실장 등이 참석했다.

JSR은 1957년 설립이래 현재 반도체 포토레지스트 분야 시장 점유율 세계 1위를 기록하고 있다. 국내에는 지난 2003년 충북 오창 공장을 설립해 디스플레이 소재 분야에 진출했고 이후 투자를 늘려왔다.

JSR이 청주공장에서 생산할 반도체 EUV 공정용 메탈포토레지스트는 기존에 사용됐던 저사양 화학증폭형 포토레지스트를 대체하는 첨단 제품이다.

주요 반도체 생산기업들이 역량을 집중하고 있는 반도체 초미세 공정의 경쟁력을 좌우하는 핵심 소재로 꼽힌다.

JSR은 오는 2026년까지 생산기반을 구축하고 메탈포토레지스트를 양산할 계획이다.

EUV 공정 전환에 속도를 내고 있는 국내 반도체 기업들과 협력도 기대를 모은다.

김대자 무역투자실장은 "JSR의 이번 투자가 성공적으로 이행되고 추가 투자로 이어질 수 있도록 충청북도·청주시와 함께 총력 지원해 나갈 계획"이라며 "앞으로도 우리나라가 첨단산업 중심의 글로벌 비즈니스 거점으로 자리매김 할 수 있도록 정책적 노력을 다하겠다"고 밝혔다.

/박지은 기자(qqji0516@inews24.com)