日 JSR, 청주에 EUV 메탈포토레지스트 생산거점 구축

1957년 설립된 JSR은 현재 반도체 포토레지스트 분야 시장 점유율 세계 1위인 회사다. /JSR 홈페이지 캡처

반도체 포토레지스트 분야 세계 시장 점유율 1위인 일본의 JSR이 충북 청주에 반도체 극자외선(EUV) 공정 핵심 소재인 메탈포토레지스트(Metal Oxide resist, MOR) 생산공장을 짓는다.

JSR은 기존에 국내에 운영 중인 디스플레이 사업에 이어, 전 세계 기업 중 최초로 반도체 극자외선(EUV) 공정용 메탈포토레지스트 생산 거점을 한국에 구축하게 된다.

국내 반도체 기업 수요에 빠르게 대응해 산업 경쟁력 강화에 기여할 것이란 관측이 나온다.

12일 산업통상자원부에 따르면 JSR은 이날 충북 청주에서 메탈포토레지스트 생산공장 기공식을 진행했다.

JSR은 1957년 설립된 회사로, 현재 반도체 포토레지스트 분야 시장 점유율 세계 1위다. 국내에는 2003년 충북 오창 공장을 설립해 디스플레이 소재 분야에 처음 진출한 이후 꾸준히 투자를 확대하고 있다.

이번에 투자하는 EUV 메탈포토레지스트는 기존 반도체 공정에서 사용하는 저사양 화학증폭형 포토레지스트를 대체하는 첨단제품이다. 주요 반도체 생산기업들이 역량을 집중하고 있는 반도체 초미세 공정의 경쟁력을 좌우하는 핵심 소재로 알려져 있다.

JSR은 2026년까지 생산기반 구축을 완료하고, 메탈포토레지스트를 양산할 계획이다.

김대자 산업부 무역투자실장은 “JSR의 이번 투자가 성공적으로 이행되고 추가 투자로 이어질 수 있도록 충청북도·청주시와 함께 총력 지원해 나갈 계획”이라며 “앞으로도 우리나라가 첨단산업 중심의 글로벌 비즈니스 거점으로 자리매김 할 수 있도록 정책적 노력을 다하겠다”고 말했다.

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