반도체 극자외선 공정 핵심 소재 생산거점 국내 기공

국내 반도체 기업에 MOR 적기 공급…경쟁력 강화

12일 충북 청주에서 JSR의 반도체 극자외선(EUV) 공정 핵심 소재인 메탈포토레지스트(MOR) 생산공장 기공했다. 사진은 삼성전자 반도체 공장 내부 모습. /삼성전자

[더팩트ㅣ세종=박병립 기자] 산업통상자원부는 12일 충북 청주에서 JSR의 반도체 극자외선(EUV) 공정 핵심 소재인 메탈포토레지스트(MOR) 생산공장 기공식이 열렸다고 밝혔다.

이날 기공식을 통해 JSR은 기존에 국내에 운영 중인 디스플레이 사업에 이어, 세계 기업 중 최초로 반도체 EUV 공정용 MOR 생산거점을 한국에 구축했다.

특히 이번 투자 대상인 EUV MOR는 기존 반도체 공정에서 사용되는 저사양 화학증폭형 포토레지스트를 대체하는 첨단제품으로 주요 반도체 생산기업들이 역량을 집중하고 있는 반도체 초미세 공정의 경쟁력을 좌우하는 핵심 소재다.

JSR은 2026년까지 생산기반 구축을 완료하고 MOR를 양산할 계획이며 이를 통해 국내기업 수요에 적기 대응해 국내 반도체 산업 경쟁력 강화에 기여할 수 있을 것으로 산업부는 보고 있다.

19578년 설립한 JSR은 현재 반도체 포토레지스트 분야 시장 점유율 세계 1위를 기록하고 있으며, 국내에는 2003년 충북 오창 공장을 마련해 디스플레이 소재 분야에 처음 진출한 이래 꾸준히 투자를 확대해 왔다.

김대자 산업부 무역투자실장은 "JSR의 이번 투자가 성공적으로 이행되고 추가 투자로 이어질 수 있도록 충북도, 청주시와 함께 총력 지원해 나갈 계획"이라며 "앞으로도 우리나라가 첨단산업 중심의 글로벌 비즈니스 거점으로 자리매김 할 수 있도록 정책적 노력을 다하겠다"고 밝혔다.

riby@tf.co.kr

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