예스티 "HPSP 특허 소송 기각, 1차 목적 달성…재청구 나설 것"

예스티가 HPSP의 특허침해소송에 대응해 제기한 특허 무효 소송이 기각됐다. 예스티는 이 같은 법원의 결정에 대해 "이미 HPSP의 특허 정정으로 1차 목표는 달성했다"고 1일 입장을 밝혔다.

예스티는 자료를 보강해 소송전을 다시 이어가는 한편 양산테스트 이전 절차를 빠르게 마무리 지어 고압닐링 장비 시장 진입 시기 지연을 최소화한다는 계획이다.

앞서 특허심판원은 지난 31일 예스티가 HPSP의 고압어닐링장비의 잠금장치 관련 특허를 상대로 청구한 무효심판을 '기각' 판결했다. 아울러 소극적권리범위확인심판은 '각하' 처분했다. 고압수소어닐링은 반도체의 실리콘 산화물(SiO) 표면 결함을 고압 수소·중수소로 치환하는 장비로 HPSP가 독점하고 있는 분야다.

예스티가 해당 분야 진출에 나서자 HPSP는 예스티가 자사의 특허를 침해했다며 먼저 소를 제기했다. 예스티는 이에 맞대응해 HPSP의 특허가 무효라는 특허 취소 소송과 소극적권리범위확인심판을 청구했다. 예스티가 제기한 특허 무효 소송과 소극적권리범위확인심판에서 각각 기각과 각하 결정이 나온 것이다.

예스티 관계자는 "이번 특허심판에서 HPSP는 기존 특허를 한정하는 특허 정정을 실시해 예스티는 1차 목표를 달성했다"며 "이에 더해 특허 자체의 무효를 다투었으나 특허심판원은 정정 특허를 유효한 것으로 판단해 무효심판을 기각한 것"이라고 설명했다.

예스티가 제기한 소극적권리범위확인심판은 총 3건으로 예스티의 제품이 특허를 침해하지 않았다는 점을 확인해 달라는 취지다. 예스티는 청구한 3가지 구조에 대해 이미 특허를 출원한 상태다. 이 중 1건은 특허 등록되었고 2건은 특허 심사 중이다. 이미 특허등록된 구조의 경우 HPSP와의 특허 분쟁의 핵심인 외부체결링이 아예 존재하지 않는 구조다.

회사 관계자는 "3건의 소극적권리범위심판은 기각이 아닌 각하로, 특허심판원은 예스티의 청구내용(확인대상발명)이 HPSP 특허침해 여부를 판단할 만큼 구체적이지 않다고 판단한 것"이라며 "각하는 예스티의 확인대상발명이 HPSP의 특허를 침해한다는 의미가 아니다"고 말했다.

이 관계자는 "각하 결정은 심판과정에서 예스티의 기술 노출을 최대한 방지하기 위해 특허심판이 요구하는 최소한의 정보로 심판을 청구한 탓으로 전략 실패"라며 "현재 특허심사 중인 2건의 경우 이중도어가 아닌 단일도어 구조로 되어있어 HPSP가 특허침해 주장 자체를 하지 않았다"고 했다.

이어 "예스티는 현재 글로벌반도체업체들과 테스트를 활발하게 진행하고 있으며, 소극적권리범위확인심판 승소 이후 양산테스트를 위한 장비반입을 계획하고 있다"며 "재청구와 더불어 양산테스트 이전 절차를 빠르게 마무리 지어 시장진입 시기 지연을 최소화하겠다"고 강조했다.

박기영 기자 pgys@mt.co.kr