위지트, 친환경 세정 기술 특허 출원…"반도체·디스플레이 원가 절감"

위지트는 '반도체 및 디스플레이 제조 장비의 핵심부품 재사용을 위한 친환경 세정 방법' 특허를 출원했다고 24일 밝혔다.

반도체 및 디스플레이 제조공정에 사용되는 부품은 고주파 플라즈마와 에칭 가스에 노출되기 때문에 내플라즈마성이 우수한 피막을 형성해 보호한다. 고가의 공정 장비 부품은 제조공정 중 발생하는 미세 오염을 제거해 재사용 할 수 있도록 하는 재생작업이 필요하다.

이번 특허기술은 기존 재상작업 기술에 대비 세정 시간을 대폭 단축했으며 세정 과정에서 발생하는 제품의 손상 방지할 수 있다. 아울러 인체에 무해한 친환경 물질을 활용해 생산원가 절감 효과가 있다는 것이 회사 측의 설명이다.

위지트 관계자는 "이번 특허 기술로 세정 제품에 대한 신뢰성은 높이고 생산 비용은 낮출 수 있게 됐다"며 "앞으로도 지속적인 연구개발을 통해 반도체 및 디스플레이 소부장(소재·부품·장비) 시장에서의 선도적인 역할을 다하겠다"고 말했다.

한편 위지트는 반도체 및 디스플레이 장비 부품 제조에 관한 19건의 특허를 보유하고 있다. 지난해에는 첨단 메모리반도체(D램, 낸드플래시, 고대역폭메모리) 소재 및 부품을 제조하는 '국가전략기술' 사업화 시설로 지정받았다.

박기영 기자 pgys@mt.co.kr