반도체 고압가스 관리기준 손본다…정부·업계 협의회 출범

김형욱 2024. 9. 12. 23:43
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정부와 반도체업계가 고압가스 안전관리기준을 손본다.

산업계가 반도체 생산 공정에 사용하는 고압가스 분야에 신소재·신기술 도입 속도가 빠르다는 점을 고려해 정부도 그 기준을 합리화한다는 목표다.

그러나 모노실란을 비롯한 반도체 생산용 고압가스는 그 종류가 많고 신소재·신기술 도입이 빠른 속도로 이뤄짐에 따라 안전관리기준이 그 속도를 따라가지 못한다는 현장 목소리가 있어 왔다.

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업계 신소재·신기술 도입 맞춰,
정부도 기준 합리화방안 검토

[이데일리 김형욱 기자] 정부와 반도체업계가 고압가스 안전관리기준을 손본다. 산업계가 반도체 생산 공정에 사용하는 고압가스 분야에 신소재·신기술 도입 속도가 빠르다는 점을 고려해 정부도 그 기준을 합리화한다는 목표다.

모노실란 Y실린더. (사진=SK스페셜티 홈페이지)
산업통상자원부는 12일 경기도 판교 한국반도체산업협회에서 한국가스안전공사·한국반도체산업협회·삼성전자(005930)·SK하이닉스(000660)와 업무협약을 맺고 이를 논의하기 위한 실무협의회를 꾸리기로 했다.

고압가스는 안전사고 우려가 크기 때문에 산업부와 산하 가스안전공사는 이에 대한 구체적인 안전관리기준을 마련해 운영하고 있다. 그러나 모노실란을 비롯한 반도체 생산용 고압가스는 그 종류가 많고 신소재·신기술 도입이 빠른 속도로 이뤄짐에 따라 안전관리기준이 그 속도를 따라가지 못한다는 현장 목소리가 있어 왔다. 정부는 이에 민·관 합동 실무협의회를 꾸려 안전을 담보한다는 전제로 반도체 산업 특성에 맞는 새 기준을 마련하고 업계의 안전 컨설팅도 지원키로 했다.

박찬기 산업부 수소경제정책관은 “현장 여건에 맞는 안전을 확보하면서 반도체 기업의 경쟁력을 강화하는 균형이 중요한 상황”이라며 “반도체산업뿐 아니라 석유화학·특수가스 등 각 산업계와도 소통해 계속 기준 합리화를 추진하겠다”고 말했다.

김형욱 (nero@edaily.co.kr)

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