멤스, 수소 감지 센서·SAW-IDT 미세유체시스템 개발…세계 시장 진출 가속화

미세전자제어기술(MEMS) 및 반도체 전문기업 멤스의 MEMS 공정 모습.

미세전자제어기술(MEMS) 및 반도체 전문기업 멤스(대표 김세민)는 최근 비접촉식 열전도형 수소 감지 센서와 표면 음향파-맞물림 전극(SAW-IDT) 기반 미세유체시스템을 개발, 본격적인 제품화에 들어갔다고 11일 밝혔다.

멤스의 수소 감지 센서는 기체와 직접 반응하지 않고 해당 기체의 열전도 변화를 감지해 수소 검출이 가능하도록 설계했다. 소자의 열화로 내구성과 신뢰성 측면에서 한계를 보이는 기존 촉매 연소 방식의 문제를 획기적으로 해결했다. 소자의 안정성, 기존 제품을 뛰어넘는 초소형 사이즈, 광범위한 감지 범위를 제공함으로써 다양한 수소 관련 응용 분야의 가능성을 넓혔다.

SAW-IDT 기술을 활용한 미세유체시스템은 의약과 생명과학, 화학 산업 등에서 초미량의 액체를 정밀하게 제어할 수 있는 솔루션이다. 형광 표지 없이도 미세 액적과 입자를 제어할 수 있다는 점에서 기존 시스템보다 활용도를 크게 개선했다.

SAW-IDT 기술은 음향파를 활용해 마이크로 단위 미세액적과 입자를 비접촉으로 제어하는 방식이다. 처리과정 중 발생할 수 있는 오염이나 물리적 손상의 위험을 크게 줄이고, 정밀한 입자 제어를 높은 속도로 가능하게 한다. 멤스는 이러한 기술을 바탕으로 유세포 분리기 및 미세플라스틱 검출기 등의 기능을 구현했다. 바이오 분석, 진단, 화학 반응 제어 등 다양한 응용 분야에서 주목받을 것으로 예상하고 있다.

이 회사는 지난 1월 미국 라스베이거스에서 열린 세계 최대 가전·정보기술(IT) 박람회인 'CES 2024'에서 비접촉식 열전도형 수소 센서를 선보이며 독보적인 기술력을 알렸다. 특히 혁신상을 수상함으로써 전 세계 수소 에너지 시장에서 기술력을 인정받았다.

멤스는 중소벤처기업진흥공단과 신용보증기금으로부터 투자를 유치해 사업화에 박차를 가하고 있다. 다양한 산업현장 요구에 맞춘 제품을 개발해 맞춤형 솔루션을 제공한다는 목표다.

차세대 반도체 파운드리 서비스에도 적극 투자하고 있다. 일반적인 실리콘(Si) 웨이퍼뿐만 아니라, 질화갈륨(GaN)과 산화갈륨(Ga₂O₃) 같은 차세대 반도체 소재를 활용한 고품질 반도체 파운드리 공정 서비스를 제공할 예정이다. 대량 생산 위주로 이루어지는 기존 대형 파운드리와 달리 소규모 맞춤형 생산 서비스를 제공함으로써 연구개발(R&D)에 필요한 고도로 특화된 공정을 지원하고 있다.

이러한 기술적 역량은 글로벌 협력관계로 이어지고 있다. 스위스의 이노베이션 파크 이노바레 및 CSEM과 국제 연구개발(R&D) 프로젝트를 함께 추진 중에 있으며 미국의 애트모센스, 대만의 브라이텍, 중국의 윈센, SCSE에 장기 공급 계약을 협의 중이다.

김세민 대표는 “단순한 제품 개발을 넘어 환경적 지속 가능성을 고려한 기술 발전에 중점을 두고 있다”며 “앞으로도 전문적인 멤스 및 반도체 기술을 기반으로 다양한 응용 분야에서의 파트너십을 통해 시장 확장을 지속할 계획”이라고 말했다.

광주=김한식 기자 hskim@etnews.com