네덜란드, ASML 구형 장비 수출에도 “정부 허가 필요”

-기존 DUV 노광장비 ’구형 제품‘도 수출 규제
-무역장관 “반도체 장비 수출에 안보 상 책임 따라”

네덜란드 반도체 장비제조사 ASML의 본사에 있는 기업 로고. [사진=로이터연합]

네덜란드 정부가 자국의 반도체 장비 제조사 ASML의 구형 장비 수출에도 새로운 수출 통제 조치를 취하기로 결정했다.

6일(현지시간) 레이네테 클레베 네덜란드 대외무역·개발협력 장관은 이날 성명을 통해 반도체 미세회로 공정에서 쓰이는 ASML의 구형 심자외선(DUV) 노광장비 2종(Twinscan NXT:1970i, 1980i)에 대해서도 정부의 수출 허가(라이선스)를 요구하는 수출 통제 규정을 7일부터 적용한다고 밝혔다.

이번 조치는 지난해 9월 1일부터 네덜란드 정부가 수출 규제를 시작한 고성능 액침(이머전) 방식의 DUV 노광장비(TWINSCAN NXT: 2000i, 2050i, 2100i)에 대한 수출 규제에 이어 보다 구형의 액침 DUV 노광장비로 수출 규제를 확대한 것이다.

반도체 미세회로 공정은 DUV 장비의 해상력에도 영향을 받는데 관련 업계에 따르면 지난해 수출 통제 대상이 된 2000i 이후 최신형 모델의 해상력과 구형 1980i 모델의 해상력은 38나노미터(nm) 급으로 같다.

ASML의 액침(이머전) 방식의 심자외선(DUV) 노광장비 ‘트윈스캔 1980i’ 모델. [출처=ASML]

앞서 네덜란드 정부는 2019년부터 10nm 이하 미세회로 공정에 적합한 극자외선(EUV) 장비의 중국 수출을 규제했다. 그러나 중국은 지난해 8월 SMIC가 ASML의 기존 DUV 노광장비를 활용한 ‘멀티패터닝(반복 노광공정)’을 통해 7nm급 반도체 생산에 성공했다.

클레베 장관은 국가안보를 위해 이같은 결정을 내렸다고 밝히면서 “이 분야에서 선도적인 입지를 확보한 네덜란드가 반도체 장비를 수출할 때 오늘날 지정학적 환경에서 더 많은 안보 위험이 따르며 이에 대한 책임이 따른다”며 “반도체 장비 산업의 글로벌 무역과 공급망을 최대한 교란하지 않게 신중한 접근방식을 취했다”고 설명했다.

ASML은 세계에서 유일하게 최첨단 미세회로 공정에 필요한 극자외선(EUV) 노광장비를 독점 공급하는 가운데 기존 미세회로 공정에 사용되던 심자외선(DUV) 노광장비의 절반 이상을 중국 반도체 제조사들에게 수출해 왔다.

네덜란드의 이번 구형 DUV 노광장비 수출 규제 확대로 중국 반도체 제조사들은 최신형 액침(이머전) DUV 노광장비 대신 해상력이 더 떨어지는 구형 ‘건식(드라이)’ DUV 노광장비에 대한 의존도가 높아질 전망이다.

이번 네덜란드 정부의 DUV 장비 추가 수출 규제에 대해 ASML 측은 매출에 영향이 없다는 공식 입장을 내놓았다.