ASML, 중국 내 장비 유지보수 중단… "中, 반도체 산업 타격 불가피"

美, 中 제재 동참 압박에 중단 결정
EUV에 이어 DUV 장비에도 적용 예상

ASML 로고가 부착된 반도체 칩./로이터 연합뉴스

네덜란드 정부가 자국 반도체 장비 기업 ASML 중국 사업 제재를 강화할 방침이다. 첨단 반도체 생산에 필수인 극자외선(EUV) 노광 장비 수입이 가로막힌 데 이어 심자외선(DUV) 장비에도 규제가 확대될 것으로 예상돼, 중국의 반도체 산업 육성 정책이 타격을 입을 전망이다.

블룸버그통신은 29일(현지시각) 익명의 소식통들을 인용해 딕 스호프 네덜란드 총리가 올해로 만료되는 중국 내 ASML의 특정 서비스와 예비 부품 제공 라이선스를 갱신해주지 않을 가능성이 높다고 보도했다.

ASML의 심자외선 심자외선(DUV) 장비에도 서비스 중단이 적용될 것으로 예상된다. 미국의 규제로 ASMML EUV 노광 장비 수입이 막힌 중국은 ASML의 DUV 장비에 의존해 반도체를 제조하고 있다. 블룸버그는 이 같은 조치가 반도체 산업을 육성하고 있는 중국의 ‘반도체 굴기’에 큰 타격이 될 수 있다고 평가했다.

네덜란드 정부의 이런 결정은 중국에 대한 첨단 반도체 기술 이전을 제한하라는 미국의 압력 이후 나온 것이다. 미국 바이든 행정부 고위 관계자는 동맹국이 중국에 대한 수출 통제 기준에서 미국과 걸맞지 않을 경우 해외직접생산품규칙(FDPR)을 적용하는 등 추가 조치를 단행할 수도 있다고 압박해 왔다.

FDPR는 다른 나라에서 만든 제품이라도 미국산 소프트웨어나 장비·기술 등을 조금이라도 사용했으면 수출 시 미 정부의 허가를 받도록 규정한 규칙이다. 반도체 제조 장비에서 중요한 국가로는 미국 외에 한국, 네덜란드, 일본 등이 꼽히며 미국 정부는 FDPR 사용을 앞세워 동맹국들이 이에 동참하도록 해왔다.

마르크 뤼터 전 총리 당시 네덜란드 정부는 미국의 수출 금지 조치가 첨단 반도체 제조 장비에 미치는 영향을 평가할 시간이 더 필요하다고 주장해 왔지만, 슬로프 총리 부임이후 노선을 선회한 것으로 보인다.

그는 이달 블룸버그 뉴스와의 인터뷰에서 네덜란드는 국가 안보를 둘러싼 중국과의 대화에서 “매우 신중해야 한다”고 했다. 그러면서 네덜란드 정부가 올해 새로운 수출 통제를 고려하고 있는지를 묻는 질문에 “미국 및 일본과 좋은 협상을 하고 있으며 좋은 결과로 끝날 것으로 기대한다”고 했다.

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