“美 압박 속...네덜란드, 中 판매된 ASML 장비 유지 보수 서비스도 막는다”

네덜란드 벨트호벤에 위치한 반도체 장비 제조 기업 ASML 홀딩 NV. 블룸버그통신 홈페이지 캡처

베이징=박세희 특파원

네덜란드의 반도체 장비 제조업체 ASML이 중국에 이미 판매한 장비에 제공하고 있는 유지·보수 서비스 일부가 올해 말 끝날 것으로 보인다고 블룸버그통신이 보도했다. 유지·보수 서비스를 통한 기술 이전을 우려하는 미국의 압력 속 나온 결정으로, 중국의 반발이 예상된다.

블룸버그는 29일 익명의 관계자들을 인용해 지난 7월 취임한 딕 스호프 신임 총리가 이끄는 네덜란드 정부는 올해 말 만료되는 중국 내 ASML 장비에 대한 유지·보수 서비스 라이센스를 갱신하지 않을 방침이라고 전했다. 해당 조치는 ASML의 심자외선(DUV) 노광장비를 대상으로 적용될 예정이다.

네덜란드는 2019년부터 극자외선(EUV) 노광장비를 중국에 수출하지 않고 있으며 지난 1월부터는 DUV 장비 수출도 제한했다. 여기에 이미 중국으로 판매한 장비들에 대한 유지·보수 서비스까지 막겠다는 것이다. 유지·보수 서비스는 장비 가동 유지에 필수적이기 때문에 이 서비스가 중단되면 적어도 내년부터는 일부 장비의 가동이 불가능해질 수 있다고 블룸버그는 지적했다.

이번 조치는 중국으로의 첨단 반도체 기술 이전 가능성을 차단하려는 미국 정부의 압박에 나온 결정이다. 미국의 제재에도 중국 반도체 산업이 발전하고 있다는 지적이 이어지면서 미국은 네덜란드, 일본 등 동맹국들에 중국과의 무역 제한을 줄곧 압박해왔다. 지난달에는 ASML과 일본 도쿄일렉트론 등 기업이 계속 중국에 첨단 반도체 기술 접근을 허용할 경우 해외직접생산품규칙(FDPR) 등 조치를 사용할 수 있다고 위협했다는 보도도 나왔다. FDPR은 다른 나라에서 만든 제품이라도 미국산 소프트웨어나 장비·기술 등이 조금이라도 사용됐다면 수출할 때 미국 정부의 허가를 받도록 하는 것으로, 매우 가혹한 조치로 받아들여진다.

마르크 뤼터 전 네덜란드 총리는 "해당 조치에 따른 영향을 평가하는 데 시간이 더 필요하다"고 미국의 압박에 저항했지만 지난달 네덜란드 정보국 수장 출신인 딕 스호프 신임 총리가 취임하며 분위기가 바뀌었다고 블룸버그는 전했다.