반도체 웨이퍼 검사 솔루션 ‘미르테크(주)’, 중기부 딥테크 팁스 선정

< 미르테크 박정옥 대표 / 미르테크 제공 >

미르테크(주)가 SK하이닉스 사내벤처 기업으로서 반도체 웨이퍼(Wafer) 결함을 실시간으로 고속 전수 검사하는 솔루션을 인정받아 중소벤처기업부의 ‘딥테크 팁스(Tips)’에 선정됐다고 전했다.

딥테크 팁스는 민간투자와 연계하여 초기 유망 창업기업을 성장단계별로 발굴·지원하는 창업기업 지원 프로그램이다.

‘딥테크 팁스’는 팁스 운영사가 ‘스타트업 10대 초격차 분야’의 창업기업을 선별해 3억원 이상 투자하면 정부가 최대 15억원 규모의 연구개발(R&D) 자금을 매칭·지원하는 프로그램이다. 팁스 운영사로부터 투자받은 스타트업 중 우수기업으로 추천된 기업만 지원할 수 있으며 미르테크(주)의 이번 ‘딥테크 팁스(Tips)’ 선정은 로우파트너스의 투자(3억원)와 추천을 통하여 이루어졌다.

반도체 웨이퍼는 얇은 기판 위에 반도체 집적회로를 탑재하는 것으로, 제조 공정에서 발생한 긁힘, 치핑, 오염, 깨짐 등 다양한 결함 검사는 웨이퍼 제조 과정의 필수적인 공정이다. 현재는 웨이퍼 결함으로 인하여 반도체 품질과 수율에 막대한 영향을 미치고 있음에도 불구하고 고가의 해외 장비에 의존하고 있는 상황이다. 또한 웨이퍼 전수 검사가 아닌 샘플 검사의 한계가 있었다.

미르테크(주)는 해당 문제점을 해결하기 위한 ‘웨이퍼 결함 실시간 고속 전수 검사 솔루션’을 자체 개발하였으며, 향후 상용화에 성공하게 될 경우 반도체 웨이퍼 검사 장비 시장에 있어 세계 시장을 주도할 수 있을 것으로 기대되고 있다.

미르테크㈜ 박정옥 대표는 “기존 수입에 의존하던 고가의 웨이퍼 검사 장비를 국산화하고, 이를 바탕으로 해외 수출까지 연계해 미국, 일본 등의 해외 시장에 진출할 계획”이라고 밝혔다.

팁스 운영사 ㈜로우파트너스 황태형 대표는 “미르테크가 반도체 검사 장비 유니콘 기업으로 성장할 수 있도록 국내외 특허 포트폴리오 구축, AI 기술 고도화 지원, 글로벌 판로 개척 등을 적극적으로 지원하겠다”라고 설명했다.