큐빅셀, '첨단 반도체 패키징 검사장비' 국가과제 선정

FSH 기술을 적용한 샘플테스트 및 솔루션개발용 데모기기. /사진=큐빅셀

광학전문기업 큐빅셀은 '첨단 전략산업 초격차 기술개발(반도체)'을 위한 국가과제에 주관기관으로 선정됐다고 20일 밝혔다.

큐빅셀 컨소시엄은 1㎛(마이크로미터) 이하 분해능으로 실시간 계측이 가능한 자동광학검사장비를 개발하는데 2026년까지 약 38억원을 지원받는다.

인공지능(AI) 언어모델 챗GPTChatGPT) 등장으로 AI 서버 수요가 크게 늘고 있다. 챗GPT 같은 AI언어모델의 연산 능력을 감당하려면 AI 프로세서, HBM, 칩셋용 IC 등 이종소자를 웨이퍼 레벨(Wafer Level)에서 패키지로 넣어야 한다. 처리 속도와 내구성을 높이면서도 안정적으로 데이터를 처리하는 방안이다. 전력 소비 감소, 공간 효율도 고려된다.

이종소자 뿐만 아니라 HBM 같은 D램이 8단 이상 적층된 소자를 패키징하는 것은 기술적 난이도가 높다. 이를 실시간으로 정확히 계측하는 게 기술의 핵심이다. 산업통상자원부는 첨단 전략산업 초격차 기술개발에 1㎛ 이하 분해능력으로 실시간 계측이 가능한 3차원 홀로그래피 자동광학검사기술을 확보하는 게 필요하다고 보고 이번 사업을 진행하게 됐다.

큐빅셀은 3D 이미지를 한 번에 얻을 수 있는 FSH(Flying-over Scanning Holography) 기술로 첨단 패키징을 3차원으로 검사할 수 있는 솔루션을 개발해왔다. 향후 일본 치바대학과 한국 한양대, 한국전자기술연구원(KETI) 등과 과제를 수행해 자동광학검사장비를 비롯, AI 기반의 홀로그램 신호처리 소프트웨어 기술까지 확보할 계획이다.

김지산 기자 san@mt.co.kr