큐빅셀, 산자부 국가과제 ‘첨단 전략산업 초격차 기술개발’ 주관기관 선정

FSH 기술을 적용한 샘플 테스트 및 설루션 개발용 데모기기. 큐빅셀 제공

광학전문기업 큐빅셀은 산업통상자원부의 첨단 전략산업 초격차 기술개발(반도체)을 위한 국가과제 주관기관으로 선정돼 협약을 완료했다고 20일 밝혔다.

이에따라 향후 큐빅셀을 주관기관으로 하는 컨소시엄은 1㎛ 이하 분해능으로 실시간 계측이 가능한 자동광학검사장비를 개발하는데 2026년까지 총 약 38억원을 지원받게 된다

최근 인공지능(AI) 언어모델 챗GPT(ChatGPT)의 등장으로 AI 서버 수요가 크게 늘어나고 있고, 챗GPT와 같은 AI 언어모델의 연산능력을 감당하기 위해서는 AI 프로세서, HBM, 칩셋용 IC 등 이종소자를 웨이퍼 레벨(Wafer Level)에서 패키지 공정을 진행하는 첨단 패키징(Advanced Packaging)이 필수적이다. 이는 빠른 처리 속도와 높은 내구성으로 인해 안정적으로 데이터를 처리할 수 있고, 전력 소비가 적으며 작은 공간을 차지하기 때문이다.

이종소자들 뿐만 아니라 HBM같은 DRAM이 8단 이상 적층된 소자를 패키징 하는 것은 기술적 난이도가 높기 때문에 이를 실시간으로 정확히 계측하는 것이 첨단 패키지 기술의 안정성 및 수율 확보에 필수적이다.

이에 따라 산업통상자원부는 첨단 전략산업 초격차 기술개발에 1㎛ 이하 분해능으로 실시간 계측이 가능한 3차원 홀로그래피 자동광학검사기술을 확보하는 것이 필요하다고 판단해 이번 과제를 통해 기술 개발을 지원하게 된 것이다.

큐빅셀은 그동안 깊은 심도 영역에서도 높은 분해능으로 3D 이미지를 한번에 얻을 수 있는 FSH(Flying-over Scanning Holography) 기술로 첨단 패키징을 3차원으로 검사할 수 있는 솔루션을 개발해 글로벌 Tier-1 종합반도체회사로부터 긍정적인 반응을 받은 바 있다.

이와 같은 실적이 이번 과제에 선정될 수 있었던 배경이며, 향후 일본의 치바대학교, 한양대학교 및 한국전자기술연구원(KETI)와 함께 과제를 수행하며 자동광학검사장비뿐만 아니라 AI 기반의 홀로그램 신호처리 소프트웨어 기술까지 확보한다는 계획이다.

큐빅셀 관계자는 "이번 과제에 선정된 것은 홀로그램을 기반으로 한 FSH 기술이 반도체 계측 및 검사에 다양하게 활용될 수 있음을 확인한데 의의가 있다"며 "과제의 결과물을 통해 향후 첨단 패키징의 기술적 난제를 해결하는데 기여할 것"이라고 말했다. 박영서기자 pys@dt.co.kr