SK하이닉스, AI 기반 솔루션 식각 공정 확대 적용

가우스랩스, 가상 계측 솔루션 신버전 출시

[서울=뉴시스]SK하이닉스가 투자한 산업용 AI 기업 가우스랩스가 가상 계측 솔루션 '파놉테스(Panoptes) VM' 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다. (사진 = 업체 제공) photo@newsis.com *재판매 및 DB 금지

[서울=뉴시스]이현주 기자 = SK하이닉스가 투자한 산업용 AI 기업 가우스랩스가 가상 계측 솔루션 '파놉테스(Panoptes) VM' 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다.

계측은 반도체 제조 과정에서 반도체 소자의 물리적, 전기적 특성이 생산 공정별로 제대로 충족되었는지 측정하는 작업이다.

파놉테스 VM은 장비에 설치된 센서에서 수집한 데이터를 활용해 제조 공정 결과를 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다. 이 솔루션을 적용하면 물리적인 전수 계측 없이도 모든 제품의 공정 결과값을 예측할 수 있어 시간과 자원을 획기적으로 줄일 수 있다.

SK하이닉스가 투자한 산업용 AI 기업인 가우스랩스는 2022년 11월 파놉테스 VM 1.0을 출시했다. SK하이닉스는 같은 해 12월부터 양산 팹(Fab)에 도입해 박막 증착 공정에 적용했으며 수율 향상 등의 효과를 얻었다.

SK하이닉스는 성능이 개선된 이번 솔루션을 식각 공정까지 확대 적용하기로 했다. 식각은 웨이퍼에 액체 또는 기체의 부식액을 이용해 불필요한 부분을 선택적으로 제거해 반도체 회로 패턴을 만드는 과정이다.

가우스랩스 기술진은 유사 공정의 데이터를 통합해 가상 계측에 활용, 데이터 부족으로 발생할 수 있는 문제를 최소화한 '유사 공정 통합 모델링' 기능과 데이터 특성에 따른 최적의 예측 알고리즘을 자동으로 선택해주는 '알고리즘 자동 선정' 기능을 추가했다.

김영한 가우스랩스 대표는 "2020년 회사 출범 당시 'AI 기술을 통한 제조 공정 혁신'이라는 비전을 세우고 AI 솔루션 개발에 몰두해 왔다"며 "지난 4년간의 노력들이 반도체 분야에서 의미 있는 결과를 내고 있는 만큼, 여기서 얻은 산업용 AI 기술력을 바탕으로 글로벌 시장을 개척해 나가겠다"고 말했다.

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