원자층 식각-증착 공정 기술로 반도체 제조 혁신

[100년 기업을 향해]오스㈜

이응구 대표

2020년 설립된 오스㈜는 반도체, 디스플레이, 태양광 등 박막 제조 공정에 필요한 식각 및 증착 장비를 전문적으로 제조하는 업체다. 오스의 핵심 제품은 반도체 제조의 8대 공정 중 두 가지인 식각과 증착 장비다. 식각은 웨이퍼를 필요한 패턴으로 가공해 반도체 구조를 형성하는 단계이며, 증착은 웨이퍼에 화학물질을 쌓아 전기적 특성을 부여하는 과정이다.

오스의 기술력은 이미 여러 차례 인정받았다. 설립 2년 만에 반도체 증착 장비 납품 실적 여러 건을 달성했으며 ‘2023 COMEUP’ 본선 진출, ‘2023 KDB 스타트업 최우수상’ 선정, ‘청년창업사관학교 13기’졸업 및 이사장상 수상, ‘제13회 청년기업가대회’ 최종 우승 등 다수의 성과를 거뒀다. 또한 ‘2024 제10회 대한민국 리딩기업대상’에서 반도체 장비 제조 부문 ‘기술혁신 대상’을 수상하며 그 실력을 입증했다. 아울러 기술력을 보유하고 있어도 장비의 부재로 연구개발에 어려움을 겪는 대학이나 연구소에 오스의 기술력이 담긴 장비를 보급하고 이를 사업화하며 산업에서 자리매김하고 있다.

이응구 오스 대표는 “기존의 반도체에서 대중적인 반응성 이온 식각(RIE) 방식이 아닌 차세대 공정 기술인 원자층 식각(ALE)을 개발하고 이를 양산화하는 기술을 개발 중인데 핵심은 공정 시간을 획기적으로 단축하는 것”이라고 밝혔다.

이 회사의 강점은 단순히 연구 수준에 머물지 않고 양산에 적용하는 수준의 검증을 목표로 기술을 개발한다는 점이다. 이 대표는 “오스 팀원들은 현업 경험이 매우 풍부하며 초기 개발부터 생산 셋업까지 경험한 인력이 참여하고 있다”고 설명했다. 이 대표 또한 숭실대 물리학 전공(학·석사)에 고려대 신소재공학과 박사과정을 수료한 연구자 출신 전문 기업인이다. 아울러 11년간 반도체 디스플레이 장비 등 현업에서 다양한 경험을 쌓았다.

오스는 향후 독자적인 신기술 개발을 통해 더욱 경쟁력 있는 기업으로 성장할 계획이다. 반도체 산업은 지속적으로 성장하고 있으며 더 작고 빠른 반도체에 대한 수요가 증가하고 있다. 현재 반도체 전극의 폭은 수 나노미터(㎚) 수준까지 좁아졌다. 이에 오스는 원자층 단위의 정밀한 제어가 가능한 기술개발에 주력하고 있다.

이 대표는 “현존하는 기술에 혁신을 더해 고도화된 새로운 기술을 만들어내고 이를 바탕으로 독보적인 기업이 되고자 한다”는 포부를 드러냈다. 또한 우수한 기술력을 바탕으로 글로벌 반도체 장비 기업들로부터 관심을 받고 있으며, 해외 진출도 준비 중이라고 덧붙였다.

반도체 장비 시장은 연간 100조 원 이상의 규모를 형성하고 있으나 대부분 글로벌 외국 기업이 장악하고 있는 실정이다. 이러한 상황에서 오스의 도전은 국내 반도체 장비 산업의 경쟁력 강화에 크게 기여할 것으로 기대된다.

유지영 기자 yjy777@donga.com