반도체 장비社 저스템, “마이크론 성능평가 성공적"···美 본토에 수출하나

이미 일본, 대만, 싱가포르 팹에 공급 중
최종 검토 후 아이다호 팹에 공급 가능성

임영진 저스템 대표. 사진 제공=저스템

[서울경제]

반도체 장비 기업 저스템(417840)이 글로벌 반도체 제조 기업 마이크론 내 기술혁신센터에서 장비 평가를 성공적으로 마쳤다고 8일 밝혔다. 마이크론은 2025년 미국 아이다호주에 준공할 예정인 새로운 생산 시설(팹·Fab)에 도입할 새로운 장비를 점검 중이다. 마이크론이 저스템 장비를 도입하기로 최종 결정할 시 미국 본토까지 수출이 이뤄질 전망이다.

이번에 저스템이 마이크론으로부터 평가를 받은 장비는 ‘N2 LPM’이다. 이 장비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 보관하고 이동시키는 특수 캐리어 ‘FOUP’ 내 습도를 제어하고 불순물을 제거하는 기능을 가지고 있다. 반도체 웨이퍼 주변 환경을 균일하게 제어해 수율을 높이는 효과가 있다. FOUP 내부 습도 제어 장비 시장에서 저스템은 세계 시장 점유율 80% 가량을 가진 선두 업체다. 마이크론에는 2019년부터 글로벌 생산 거점인 일본, 대만, 싱가포르 팹에 N2 LPM을 공급하고 있다.

북미에서 유일하게 D램을 생산하고 있는 마이크론은 아이다호주 보이시에 2025년 공장 가동을 목표로 축구장 10개 규모의 대규모 팹을 건설하고 있다. 완공 후 첨단 D램과 HBM을 생산하게 될 것으로 예상된다. 마이크론이 이번에 진행한 장비 평가는 새로운 팹에 도입할 장비를 최종 검토하는 차원에서 이뤄진 것으로 알려졌다. 저스템은 이미 마이크론 글로벌 생산 거점에 N2 LPM을 공급하고 있고 이번 평가 또한 성공적으로 마친 만큼 미국 본토 팹에도 장비를 수출하게 될 가능성이 있다.

김용진 저스템 최고기술책임자(CTO) 겸 사장은 “현지에서 테스트를 성공적으로 마친 만큼 향후 지속적으로 물량을 공급할 수 있을 것으로 보인다”며 “HBM 제조 경쟁이 치열한 상황에서 수율 제고를 위한 필수 장비로서 N2 LPM의 역할이 커질 것으로 본다”고 말했다.

이덕연 기자 gravity@sedaily.com