삼성전자, 반도체 파운드리 공장서 결함 발생…"삼성, 사실무근"

3나노 2500랏 규모 불량 발생 루머 확산
삼성 3나노 양산 규모 등 고려하면 '과장'

삼성전자 연구원이 반도체 웨이퍼를 점검하고 있다. /삼성전자

[마이데일리 = 이재훈 기자] 삼성전자가 파운드리 사업부에서 3나노(㎚·10억 분의 1m) 웨이퍼 결함이 발생했다는 루머에 대해 "사실무근"이라며 부인했다.

26일 재계와 증권가에서 삼성전자 파운드리 웨이퍼 제조 공장에서 3나노 2세대 공정 중 2500랏(lot) 규모의 결함(defect)이 발생해 1조원 손실이 발생했고, 이 웨이퍼들을 전량 폐기해야 한다는 루머가 돌았다.

2500랏은 12인치 웨이퍼 기준 월 6만5000장가량의 생산 규모로, 한때 '파운드리 내 사고 발생으로 웨이퍼 20만장이 훼손됐다'는 풍문까지 나왔다.

삼성전자 평택 반도체 공장 전경. /삼성전자

일각에서는 지난 24일 공정에서 사고가 발생했고, 피해 규모는 웨이퍼 50여장 정도로 우선 파악된다는 소식도 나왔다. 이 같은 규모는 사내 사고 대응 분류에선 ‘D급 사고’로 해당돼 대형 사고는 아닌 것으로 전해진다.

삼성전자는 즉각 "사실무근"이라고 대응했다.

한편 삼성전자는 세계 파운드리 1위인 TSMC와 치열하게 3나노 기술 경쟁을 벌이고 있다. 삼성전자 시스템LSI 사업부는 회사 파운드리의 3나노 2세대 공정을 활용해 차세대 애플리케이션 프로세서(AP)인 ‘엑시노스 2500’ 생산을 앞두고 있다.