삼성전자, 반도체 파운드리 공장서 결함 발생

삼성전자 연구원이 생산된 반도체 웨이퍼를 점검하는 모습. /삼성전자

삼성전자의 국내 파운드리 사업부에서 반도체 웨이퍼 생산 과정에서 결함이 발생한 것으로 26일 알려졌다.

이날 재계 등에 따르면, 최근 삼성전자 파운드리 웨이퍼 제조 공장에서 품질에 영향을 미치는 결함(affect)이 발생하고 이 때문에 수율에 영향을 미치는 차질이 발생한 것으로 전해졌다. 정확한 피해 규모는 확인되지 않았다.

지난 24일 공정에서 사고가 발생했고, 피해 규모는 웨이퍼 50여장 정도로 우선 파악한 것으로 전해졌다. 이 같은 규모는 사내 사고 대응 분류에선 ‘D급 사고’로 해당한다고 한다.

다만, 증권가 등에서 퍼진 ‘전량 폐기’ 등은 아닌 것으로 알려졌다. 해당 생산 라인에서 생산한 제품의 정확한 상태 등을 추가로 평가 중인 것으로 알려졌다.