환경부, 지자체 대상 반도체 생명수 '초순수' 연구시설 부지 공모

24일부터 15일 동안 복합기능 시설 부지 공모

초순수 실증 플랜트 건설현장. 연합뉴스

[서울경제]

환경부는 23일 초순수 기술개발과 인력양성을 위한 ‘국가 초순수 플랫폼센터’ 입지 선정을 위한 공모를 시작한다고 밝혔다. 적합한 부지를 보유한 전국 지자체를 대상으로 24일부터 15일간 공모해 초순수 산업의 복합기능 연구시설을 2030년까지 확보한다는 계획이다.

초순수는 반도체 제조 각 공정(웨이퍼 제조, 포토, 식각 등) 과정의 세정에 사용된다. 반도체 품질과 수율(양품 비율)을 좌우하는 핵심 요소 중 하나인 초순수의 생산을 위해서는 물속에 포함된 불순물(이온, 유기물, 미생물, 미립자, 기체 등)의 농도를 극히 낮은 값으로 억제하는 최고난도의 수처리 기술이 필요하다.

지난 2021년부터 초순수 생산기술 국산화 연구개발을 추진해온 환경부는 반도체 산업의 성장으로 수요 증가가 예상되는 초순수 생산 기술 개발 및 관련 산업의 육성을 위해 국가 초순수 플랫폼 센터를 조성할 예정이다. 플랫폼 센터는 △초순수 기술개발 △수질분석 △실증·검증 및 교육시설 등이 집적된 시설이 될 전망이다.

환경부는 이번 공모를 통해 지자체로부터 ‘초순수 플랫폼센터 유치의향서’를 접수한 후에 신청 요건의 적합 유무와 평가 기준에 따라 최적의 입지 1곳을 선정해 고시할 계획이다.

환경부는 시행령에 맞춰 △건물 바닥면적 1만 7664m2 확보 가능 △공업용수 3120m3/일 확보 가능 △전기용량 1만 300kW 및 전력량 492만 4155kWh/월 사용 가능 △폐수배출시설 1종 시설 설치 가능 △2027년 이전 착공 가능 △첨단 및 소재·부품·장비 특화단지 내 또는 반도체 제조 사업장과 30km 이내 지역 등 6가지 부지 선정 조건을 밝혔다.

환경부는 초순수 플랫폼센터 후보지 공모 이후 관련 분야 전문가 등을 중심으로 입지선정 평가위원회를 구성해 지원한 후보지에 대한 평가를 진행하고, 최적 후보지가 선정되면 주민 및 관계 행정기관 의견 수렴을 거쳐 ‘국가 초순수 플랫폼센터’의 최종 입지를 결정할 예정이다.

세종=송종호 기자 joist1894@sedaily.com