용인 기흥 미래산단 경기도 심의 통과…세메스 연구시설 입주

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경기도는 국내 최대 규모 반도체 장비 제조업체 '세메스' 기술개발센터가 입주할 예정인 용인시 기흥 미래도시첨단산업단지 조성 계획이 지방산업단지계획심의위원회 심의를 조건부 통과했다고 14일 밝혔다.

이에 따라 세메스는 9만㎡ 부지에 오는 10월 기술개발센터 공사를 시작할 전망이다.

세메스는 반도체 생산 공정에 필수 시설인 세정, 포토 트랙 등 설비 생산업체로 이번 기술개발센터 조성에 2천556억원을 투자할 계획이다.

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