저스템, '습도제어장치 JFS' 국내 톱 반도체장비사와 테스트 돌입

/사진제공=저스템

반도체 습도제어 솔루션 강자 저스템이 2세대 습도제어 장치 JFS를 국내 톱 반도체장비기업 S사와 현재 적용 테스트 중이라고 13일 밝혔다.

JFS는 저스템이 원천 특허기반으로 만든 세계 최초 기류제어 제품이다. EFEM(공정용 인터페이스 모듈)에 추가 유틸리티 없이 장착해 반도체 풉 내부습도를 1% 이하로 제어할 수 있도록 한다. 풉은 웨이퍼를 담아 옮기는 용기로, 웨이퍼 습도 유지는 수율 문제와 직결된다.

저스템은 앞서 글로벌 종합반도체기업인 M사에 이미 이 제품을 두차례 수주 받아 납품 중이다.

저스템은 "현재 S사와 진행하고 있는 평가 작업결과가 올 상반기에 나오고 글로벌 종합반도체기업 M사로부터 예상되는 추가물량이 더해지면 하반기에는 JFS솔루션의 시장진출이 한층 탄력을 받을 것"이라고 기대감을 드러냈다.

한지연 기자 vividhan@mt.co.kr