[과기원NOW] KAIST, 이차원 반도체 기반 차세대 패터닝 기술 개발 外

박정연 기자 2024. 3. 28. 17:14
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■ KAIST는 강기범 신소재공학과 교수와 김용주 고려대 교수 공동 연구팀이 이차원 반도체의 수평 성장 성질을 이용해 쉽고 간편한 산화물, 금속 등의 10나노미터(nm, 10억분의 1미터) 이하 미세 패터닝 기술을 공동 개발했다고 28일 밝혔다.

연구팀이 개발한 선택 증착 기술은 선폭 10nm 수준의 좁은 패턴에서도 원하는 물질이 한 영역 위에서만 선택적으로 증착됐으며, 기존 기술과는 달리 두께 20nm 이상에서도 선택적 증착이 가능했다.

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왼쪽부터 강기범 신소재공학과 교수,  이차원 반도체 기반 선택 증착 기술의 모식도. KAIST 제공

■ KAIST는 강기범 신소재공학과 교수와 김용주 고려대 교수 공동 연구팀이 이차원 반도체의 수평 성장 성질을 이용해 쉽고 간편한 산화물, 금속 등의 10나노미터(nm, 10억분의 1미터) 이하 미세 패터닝 기술을 공동 개발했다고 28일 밝혔다. 연구팀이 개발한 선택 증착 기술은 선폭 10nm 수준의 좁은 패턴에서도 원하는 물질이 한 영역 위에서만 선택적으로 증착됐으며, 기존 기술과는 달리 두께 20nm 이상에서도 선택적 증착이 가능했다. 국제학술지 ‘네이처 커뮤니케이션스’에 8일 게재됐다.

■ 포스텍은 노준석 기계공학과·화학공학과·전자전기공학과 교수 연구팀이 구조체를 자유롭게 탈부착해 실생활에 응용할 수 있는 조립형·다기능 탄성 메타물질 기술을 개발했다고 28일 밝혔다. 연구팀은 ‘티모센코-에렌페스트 빔 이론’을 바탕으로 탄성파 위상 변조를 위한 탄성 메타물질 해석과 모델링에 성공했다. 이를 활용해 만든 탄성 메타물질은용도에 따라 표면을 재구성할 수 있어 하나의 기판으로도 비자연적 음굴절과 파동 집중, 경로 지정형 파동 전파, 파동 전반사 등 여러 파동 현상을 광대역 주파수에서 제어할 수 있다. 연구 결과는 국제학술지 '어드밴스드 사이언스'에 15일 게재됐다.

■ 광주과학기술원(GIST)은 유승준 신소재공학부 교수 연구팀이 수계와 유기계 전해질의 장점을 모두 갖춘 차세대 전해질을 이용해 세계 최고 수준의 성능과 효율성을 가진 ‘무흐름 아연-브롬 전지’를 개발했다고 28일 밝혔다. 연구팀은 브롬과 고체 착화물을 형성하면서 교차확산을 억제하고 덴드라이트 형성도 차단할 수 있는 다기능성 ‘브롬 착화제’를 활용해 양극과 음극의 문제를 동시에 해결하는 전략을 제시했다.  기존 수계 전해질의 친환경, 저비용, 비발화성 장점은 지하면서 낮은 효율성, 메탈전극과 물의 부반응 등 단점은 보완했다. 연구 결과는 국제학술지 '에너지 스토리지 머티리얼즈'에 12일 게재됐다.

[박정연 기자 hesse@donga.com]

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