와이씨켐, 반도체 EUV 핵심 소재 2종 양산 테스트 완료

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와이씨켐은 초미세 반도체 공정의 차세대 핵심 소재로 개발한 극자외선(EUV) 광원용 소재 2종이 본격적인 상업생산에 돌입한다고 27일 밝혔다.

와이씨켐이 양산 공급하는 소재는 금속산화물레지스트(MOR) 포토레지스트 전용 신너(Thinner)와 디벨로퍼(Developer)다.

EUV MOR는 기존에 사용되는 유기 타입 EUV 포토레지스트를 대체할 무기 타입 포토레지스트다.

와이씨켐은 EUV MOR 소재 2종을 양산해 올해 국내 첫 공급을 준비 중이다.

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