전자빔리소그래피 장비 국내 두번째로 한림대에 구축

양자 연구 핵심 장비인 전자빔리소그래피 장비가 국내 두 번째로 춘천 한림대 산학협력관에 구축된다. 춘천시청 전경

양자 연구 핵심 장비인 전자빔리소그래피(EBL) 장비가 국내 두 번째로 한림대 산학협력관에 구축된다. EBL 장비 설치에 따라 춘천시와 강원특별자치도가 추진하는 양자정보통신산업 생태계 조성 사업이 탄력을 받을 전망이다.

춘천시에 따르면 EBL 장비가 최근 한림대로 운송 완료돼 설치에 들어갔다. 장비 설치에는 약 6주가 소요되며 4~5월 중 장비 가동을 알리기 위한 나노융합팹 개소식을 개최할 예정이다.

해당 장비 구축은 시와 강원특별자치도가 총 30억원의 예산으로 강원테크노파크에 위탁해 추진했다. 대전 한국전자통신연구원(ETRI)에 이어 국내 두 번째로 확보했다.

EBL 장비는 양자 연구 및 장비 생산에 필수 장비다. 다양한 형태 양자소자를 시험 제작할 수 있을 뿐만 아니라 분석 기능까지 수행한다.

특히 반도체 공정 과정 중 식각공정의 핵심이다. 식각공정은 화학 약품의 부식 작용을 이용해 반도체 제작의 바탕이 되는 소재인 웨이퍼의 특정 물질을 제거하는 작업이다.

한림대 산학협력관에 들어서는 공공 양자 연구팹은 외부 양자기술분야 연구 수요를 충족하고 지역 내 양자 산업을 활성화하기 위한 사업을 추진한다.

또 양자기술 고도화를 통해 첨단바이오 신산업 육성 및 정보통신기술(ICT) 혁신 추진에 박차를 가해 연구개발특구의 특화분야로 육성할 방침이다.

그동안 양자 분야 시제품 생산을 외국에 위탁했던 국내 기업도 기술 유출 위험없이 저렴한 가격으로 해당 설비를 이용할 수 있을 것으로 기대된다.

또 양자 분야 연구 및 관련 기업 유치 등을 통해 시와 강원특별자치도가 국내 양자정보통신 생태계 활성화를 선도할 것으로 전망된다.

춘천시 관계자는 “양자 정보 산업 인프라 구축을 발판 삼아 기술개발과 인력양성을 통해 향후 양자 클러스터 유치에 입지를 다져 민선8기 시정 목표인 첨단 지식산업도시 조성을 위한 교두보 역할에 힘쓰겠다”라고 구상을 밝혔다.

춘천=권상희 기자 shkwon@etnews.com