저스템 ‘습도제어 시스템’ 추가 수주

반도체·디스플레이 솔루션 전문 기업 저스템이 글로벌 종합 반도체 기업으로부터 2세대 습도제어 시스템(JFS)을 추가 수주했다고 8일 밝혔다.

회사에 따르면 저스템은 지난 2월 첫 수주를 받은 후 한 달 만에 두 번째 JFS 공급 계약을 체결했다. 다만 고객사는 공개하지 않았다.

JFS는 저스템이 세계 최초로 개발한 습도제어 시스템이다. 반도체 웨이퍼가 보관돼 있는 용기 내 습도를 1% 이하로 낮춰 수율을 향상시켜 주는 것이 특징이다.

저스템은 2년의 양산 평가과정과 3년의 기술 개발 과정을 거쳐 JFS의 효율을 검증했다. 용기 내 습도를 제어할 수 있게 독자 개발한 수직 층류 제어기술을 적용했다. 또 기존 장비에 추가 장착만으로도 습도·수율 문제를 해결할 수 있도록 해 가격 대비 성능 비율를 높였다.

회사 측은 2차 수주를 계기로 반도체 양산 라인에서 JFS의 사용이 늘고, 매출이 증대될 것으로 기대하고 있다. 1세대 습도제어 솔루션인 ‘N2 퍼지 시스템(N2 Purge System)’은 현재 세계 시장의 80% 이상을 점유하고 있다.

임영진 저스템 대표는 ‘“저스템의 2세대 습도제어 솔루션 JFS가 1세대 솔루션의 세계 시장점유율과 수익을 상회할 것으로 기대한다”며 “JFS 추가 수주와 글로벌 시장 확대에 힘쓸 것”이라고 말했다.