삼성전자, 전량 수입하던 네온가스 ‘재활용’… 반도체 공정 투입

삼성전자가 전량 수입에 의존하던 반도체 필수 원료인 네온(Ne)가스 재활용에 성공했다.

삼성전자 평택캠퍼스. /삼성전자 제공

7일 업계에 따르면 삼성전자는 내년부터 재활용한 네온가스를 반도체 공정에 투입할 예정이다. 네온가스를 재활용해 반도체 공정에 투입하는 것은 삼성전자가 세계에서 처음인 것으로 알려졌다.

네온은 반도체 노광 공정(반도체 실리콘 웨이퍼에 전자 회로를 새기는 공정)에 사용되는 엑시머 레이저 가스의 주재료 중 하나다. 공기 중에 0.00182% 밖에 포함돼 있지 않아 희귀 원료다.

앞서 네온은 러시아-우크라이나 전쟁 여파로 한때 가격이 40배 넘게 폭등하며 반도체 공급망 불안 요소로 꼽히기도 했다.

- Copyright ⓒ 조선비즈 & Chosun.com -