저스템, 2세대 습도제어 솔루션 수주…본격 양산 돌입

반도체·디스플레이 솔루션 전문 기업인 저스템은 글로벌 종합 반도체 기업 M사로부터 2세대 습도제어 솔루션 ‘JFS(Justem Flow Straightener)’ 수주를 받고, 본격 생산에 돌입한다고 2일 밝혔다.

JFS는 저스템 원천특허로 만든 세계 최초 반도체 습도제어 제품이다. 반도체 제조 공정 라인에서 사용하는 캐리어인 풉(FOUP) 내 습도를 상시로 1%까지 제어해 수율을 향상시키는 기능을 갖췄다.

저스템 독자 기술인 ‘수직층류(Laminar flow)’가 적용됐다. 기존 EFEM 장비에 추가 장착만으로 설치가 가능하다고 회사 측은 설명했다.

1세대 제품인 ‘N2 PURGE’ 솔루션은 누적 매출 2000억원을 달성했다. 글로벌 시장 점유율은 80%를 상회한다.

2019년 저스템은 회로 선폭이 극소화되는 시대가 도래할 것으로 판단하고, 추가적인 장비 구입없이 JFS의 설치만으로도 FOUP 내부 습도를 더 낮출 수 있는 방안을 강구해 왔다. 현재 저스템은 3세대 제품까지 개발을 완료한 상태다. 이번 M사 수주는 다음달 출하 예정이다.

임영진 저스템 대표는 “JFS는 최상의 습도제어를 위한 전략적 선택”이라며 “JFS를 활용해 습도 문제를 해결하는 동시에 외산 고가 장비를 대체하는 효과도 기대할 수 있을 것”이라고 말했다.