저스템, 2세대 습도제어장치 'JFS' 수주 개시

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 반도체 습도제어 솔루션 전문기업 저스템은 FOUP(반도체 공정용 보관용기)내 습도를 1% 이하로 낮춰 수율 향상에 크게 기여하는 2세대 습도제어 솔루션 'JFS(Justem Flow Straightener)' 수주를 개시했다고 2일 밝혔다.

저스템에 따르면 회사는 글로벌 종합 반도체 기업 M사로부터 JFS의 수주를 받고 본격적으로 생산에 돌입했다. 2년여의 기간 양산 평가 과정을 거친 후 나온 첫 수주다.

JFS는 저스템이 3년여의 기술개발과 원천특허로 만든 세계 첫 습도제어 제품이다. FOUP내 습도를 상시적으로 제어하도록, 독자적으로 개발한 수직층류(Laminar flow)기술이 적용됐다. 기존 EFEM(Equipment Front End Module·이송 자동화 모듈) 장비에 추가적인 장착 만으로 습도 문제를 해결하고 수율을 높이는 기능을 갖췄다.

임영진 저스템 대표이사는 "JFS의 연구 개발은 최상의 습도제어를 위한 전략적 선택이었다"며 "JFS 제품을 활용함으로써 습도 문제 해결은 물론, 외산의 고가 장비를 대체하는 수입 대체 효과와 글로벌 기업을 대상으로 한 수출 증대 효과도 기대된다"고 말했다.

한편 이번에 저스템이 글로벌 종합 반도체 기업 M사로부터 받은 수주는 다음 달 출하 예정이다. 회사 측은 추가적인 수주도 조만간 진행될 것으로 기대하고 있다.

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