저스템, 반도체 습도제어 솔루션 JFS 출시…글로벌 반도체社 수주

반도체 웨이퍼 습도제어 솔루션 강자인 저스템이 글로벌 반도체 기업 M사에 2세대 습도제어 솔루션 'JFS'를 수주했다고 2일 밝혔다. 신제품 첫 수주로, 저스템은 곧 양산에 돌입한다. 올해 3월 출하 예정이다.

JFS는 저스템이 3년여의 기술 개발 과정을 거쳐 만든 세계 최초의 습도제어 제품이다. 웨이퍼를 담아 옮기는 용기인 풉(FOUP) 내 습도를 상시적으로 제어해 1% 이하로 유지할 수 있도록 한다. 웨이퍼는 온도와 습도에도 민감해 습도 유지는 수율 문제와 직결된다.

추가적 장비 구입도 필요없다. 기존 장비인 EFEM(공정용 인터페이스 모듈)에 장착하기만하면 된다. 저스템은 "회로 선폭이 극소화되는 시대가 빠른 시일 내 올 것이라 보고 2019년부터 추가적 장비 구입없이 JFS 설치로 풉 내부 습도를 낮출 수 있는 방법을 고민해왔다"고 밝혔다.

저스템은 습도제어 솔루션에 특화된 기업이다. 1세대 제품인 N2 PURGE 솔루션은 글로벌 시장 점유율이 80%를 넘기며 2000억에 달하는 누적 매출액을 달성했다. 저스템은 2세대 제품인 JFS가 이번에 시장에 진입하면 N2 PURGE 수익을 넘길 것이라 본다.

중소벤처기업부는 2021년 저스템의 반도체 습도제어 솔루션을 기술혁신과제로 지정했다. 과학기술정보통신부는 지난해 저스템 기업 연구소를 최우수 기업연구소로 선정했다. 중소기업으론 유일하다.

임영진 저스템 대표이사는 "JFS는 최상의 습도제어를 위한 전략적 선택"이라며 "JFS를 활용해 습도문제를 해결하고 외산 고가 장비를 대체하는 효과도 낼 수 있다"고 말했다.

저스템은 M사외에도 다른 종합반도체 기업과의 협력을 위해 지속적으로 논의하고 있다고 밝혔다.

한지연 기자 vividhan@mt.co.kr