에이텍솔루션, '세미콘 코리아'서 K-실리콘 장비 선봬

에이텍솔루션 세미콘코리아 2024 전시 부스.

에이텍솔루션은 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 지난 31일 서울 강남구 코엑스에서 개최한 세미콘 코리아에서 본사 '실리콘 장비 제품군'을 선보였다고 1일 밝혔다.

회사는 신규 제품인 'Electrode(Cathode)'와 'Si Ring'을 선보였다. Electrode(Cathode)는 일렉트로드(캐쏘드)는 실리콘 플레이트의 마이크로 홀을 흐르는 가스에 RF 전력을 인가해 플라즈마 상태로 만드는 웨이퍼 에칭 기술에 쓰는 파츠다. Si Ring은 ESC의 웨이퍼 주변에 장착해 균일한 플라즈마 밀도와 에칭 속도를 유지하는 제품이다.

회사 관계자는 “지난 2009년 7월 AERA(아이라) MFC 영업을 시작으로 오늘날의 에이텍솔루션의 기반을 다졌다”며 “올해 전시회를 통해 관련 분야 최고 기술력을 갖춘 기업으로서 역량을 뽐낼 것”이라고 말했다. 이어 “지난 2023년에도 관련 분야에서 928억원 수입대체 효과를 창출해온 만큼, 올해 역시 우수한 성과로 국위선양과 국부창출에 앞장서겠다”고 덧붙였다.

'Electrode' (왼쪽)와 Si Ring (오른쪽).

회사 Wafer Reclaim은 2018년 삼성전자 Best contribution award 수상을 받았다. 지난 2021년 제48회 상공의날 산업통상부 장관상 수상, 2022년 '제18회 천안시 기업인의 상' 종합대상 수상, 2022년 제59회 무역의날 700만불 수출의 탑 수상, 2023년 중소기업 유공자 포상 모범중소기업인 부문상을 받았다. 올해 하반기 상장을 앞뒀다.

임중권 기자 lim9181@etnews.com