신성이엔지, 세미콘 코리아 참가…첨단 클린룸 기술 공개

세미콘 코리아 2024 신성이엔지 부스 조감도. (사진=신성이엔지) *재판매 및 DB 금지

[서울=뉴시스] 김경택 기자 = 신성이엔지가 국내 반도체 산업 성장을 이끈 클린룸 기술을 공개한다.

신성이엔지는 오는 31일부터 사흘 동안 서울 코엑스에서 열리는 '세미콘 코리아 2024'에 참가한다고 25일 밝혔다.

지난 1977년 설립된 신성이엔지는 국내 처음으로 클린룸 핵심 장비인 FFU(팬필터유닛)를 국산화하며 반도체 산업 발전에 기여해온 기업이다. 클린룸은 반도체·디스플레이 생산에 필수적인 고청정 공간을 뜻한다.

산업용 공기청정기인 FFU는 최첨단 공기 제어 기술을 통해 초미세먼지까지 제어, 제품 품질과 수율을 높이는 설비다. 현재 신성이엔지는 해당 분야에서 전 세계 점유율 60% 이상을 차지하고 있다.

이외에도 ▲외부에서 유입되는 오염된 공기를 깨끗하게 처리해 실내로 공급하는 '외조기(OAC)' ▲공기 중 이온성 오염물질을 제거하는 'WSS' ▲정상 방향으로 기류 환경을 유지해주는 '기류 연동 시스템' ▲휘발성 유기화합물을 제거하는 'V-마스터' ▲초미세먼지까지 감지하는 '미립자 가시화 시스템' 등 첨단 공기 제어 기술을 바탕으로 개발된 클린룸 관련 장비가 소개된다.

신성이엔지 관계자는 "47년 간 축적된 공기 제어 기술을 바탕으로 개발된 장비들을 소개할 것"이라며 "앞으로도 기술 선도 기업으로서 첨단산업환경 청정 토털 솔루션을 선도적으로 제시하며 관련 산업 성장을 이끌겠다"고 말했다.

한편 세미콘 코리아는 국제반도체장비재료협회(SEMI)에서 주최하는 국내 최대 반도체 전시회다. 올해는 500여개의 국내외 반도체 재료·장비 업체들이 참여한다.

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