EVG, 피엠티와 마스크리스 리소그래피 장비 공급 계약

EVG 리소스케일 장비

반도체 장비사인 EV그룹(EVG)는 피엠티에 마스크리스 노광 시스템 '리소스케일'을 공급한다고 24일 밝혔다.

리소스케일 장비는 피엠티가 첨단 메모리 웨이퍼 테스트용 프로브카드를 제조하는데 활용된다. 프로브카드는 반도체 동작을 검사하기 위해 칩과 테스트 장비를 연결하는 장치다. 피엠티는 초소형정밀기계기술(MEMS)을 기반으로 프로브카드를 만들고 있다.

프로브카드 제조를 위해서는 반도체 회로를 웨이퍼에 새기듯 노광 공정이 필요하다. 기존에는 회로가 새겨진 '포토마스크'에 빛을 투과시켰지만, 포토마스크 가격이 높아 비용 부담이 컸다. 특히 미세 공정으로 전환되고 복잡성이 커지면서 마스크 제조에 필요한 시간과 비용도 함께 증가했다.

EVG 리소스케일은 마스크를 사용하지 않고 직접 노광 공정을 진행, 연구개발(R&D) 기간을 앞당기고 비용 부담을 줄일 수 있다. 노광 면적 제한 없이 마스크를 실시간으로 전송, 즉시 노광 공정을 할 수 있는 기술 덕분이다. 높은 초점 심도와 고분해능으로 첨단 프로브카드 핵심인 고밀도 재배선 레이어(RDL)과 비아 연결이 가능하다.

피엠티는 충남 아산 본사에서 EVG 장비를 구축해 첨단 낸드·D램·고대역폭메모리(HBM) 테스트용 프로브카드를 제조할 계획이다. 조용호 피엠티 대표는 “미세 피치 프로브카드는 비용 증가 최소화가 필요하다”며 “기존 마스크 얼라이너(Mask Aligner)를 이용한 노광 공정을 EVG 마스크리스 노광 장비로 대체, 제조 비용 절감이 가능하고 공정 개발 속도 또한 단축할 수 있을 것”으로 기대했다.

권동준 기자 djkwon@etnews.com