피엠티, 첨단 메모리 웨이퍼 프로브 카드 제조용으로 EV Group의 마스크리스 리소그래피 시스템 발주

MEMS, 나노기술, 반도체 시장용 웨이퍼 본딩 및 리소그래피 장비 분야를 선도하는 EV 그룹(EV Group, 이하 EVG)은 한국의 세계적인 반도체 웨이퍼 프로브 카드 선도 기업 피엠티(PROTEC MEMS Technology)로부터 자사의 LITHOSCALE® 마스크리스 노광 시스템에 대한 공급 계약을 수주했다고 밝혔다.

이번 계약으로 EVG의 LITHOSCALE 시스템은 피엠티 본사(충남 아산시)에 설치돼 첨단 NAND, DRAM, 고대역폭 메모리(HBM) 디바이스의 웨이퍼 레벨 테스트용 차세대 MEMS 기반 프로브 카드 제조에 사용될 예정이다.

피엠티 조용호 대표이사는 “미세 피치 프로브 카드는 반복적인 리소그래피 패터닝 공정으로 제작돼 제조 비용 증가 최소화가 필요하다”며 “기존 마스크 얼라이너(Mask Aligner)를 이용한 리소그래피 공정을 EVG의 마스크리스(Maskless) 노광 장비인 LITHOSCALE로 대체함으로써 제조 비용 절감이 가능하고, 공정 개발 속도도 혁신적으로 단축할 수 있을 뿐만 아니라 프로세스 성능도 더 높일 수 있을 것으로 기대하고 있다. 앞으로도 우리는 첨단 프로브 카드 제조 및 개발에서 EVG의 LITHOSCALE뿐 아니라 다양한 프로세스 솔루션을 통한 협력을 이어갈 것으로 기대한다”고 말했다.

EVG의 MLE™(Maskless Exposure) 기술을 적용한 LITHOSCALE은 높은 수준의 유연성이나 제품 다양성이 필요한 시장 및 애플리케이션의 리소그래피 요구를 충족한다. LITHOSCALE은 실시간 데이터 전송과 즉각적인 노광을 가능하게 하는 강력한 디지털 프로세싱 능력과 높은 구조적 분해능 및 생산 처리량 확장성을 결합함으로써 기존 리소그래피 방식의 병목 문제를 해결한다. EVG의 LITHOSCALE은 빠른 프로토타입 개발에 매우 이상적인 솔루션으로, 턴어라운드 시간과 연구 개발 주기를 앞당길 수 있게 해준다.

MEMS 제조는 특히 미세공정의 복잡성 때문에 공정 난도가 높으며, 그 결과 마스크 제조 비용 증가를 피할 수 없는 한계가 있다. 마스크를 사용하지 않는 LITHOSCALE은 높은 초점 심도와 고분해능(2㎛ 수준의 L/S(Lines & Spaces)) 성능을 보장함에 따라 마스크를 사용하지 않고도 미세 피치 프로브 카드의 핵심 기술인 고밀도 재배선 레이어(RDL)와 비아(Via) 연결을 가능하게 해준다.

EVG 한국지사의 윤영식 지사장은 “피엠티가 자사 제품 포트폴리오를 확장하고 개발 시간을 단축할 수 있도록 돕게 돼 매우 기쁘다”며 “프로브 카드를 사용하는 웨이퍼 레벨 테스트는 디바이스 생산 수율을 높이고, 다이당 전반적 테스트 비용을 낮추기 위한 필수 공정이다. LITHOSCALE은 높은 분해능, 다양하고 많은 제품 설계를 처리할 수 있는 뛰어난 유연성, 낮은 소유 비용 특성을 결합한 독창적인 솔루션으로, 미세 피치 웨이퍼 프로브 카드 제조용으로 매우 이상적”이라고 말했다.

피엠티 소개

반도체 검사 장비 제조 기업인 피엠티(PROTEC MEMS Technology)는 2004년 5월 마이크로프랜드(Microfriend Inc.)로 설립돼 2016년 12월 코스닥에 상장됐으며, 2023년 3월 피엠티로 사명을 바꿨다. 피엠티는 MEMS 기술을 기반으로 차세대 프로브 카드를 생산해 꾸준히 성장을 거듭 중인 경쟁력 있는 제조회사며, 주력 제품인 ‘MEMS 프로브 카드’는 반도체 웨이퍼의 최종 검사 공정에 사용되는 고부가가치의 소모성 부품으로, 피엠티 자체 MEMS 공정 기술로 개발됐으며, 현재 메모리용 12인치급 세라믹 기판으로 생산되고 있다. 피엠티는 프로브 카드뿐만 아니라 MEMS 응용 기술을 활용한 다양한 테스트 제품에 대한 솔루션을 제공할 수 있다. 자세한 내용은 피엠티 홈페이지에서 확인할 수 있다.

EVG 소개

EVG 그룹(EVG Group)은 반도체, MEMS, 화합물 반도체, 파워 디바이스, 그리고 나노 기술을 이용한 소자들을 제조하는 데 필요한 장비 및 공정 솔루션을 제공하는 세계적인 전문 기업이다. 웨이퍼 본딩, 얇은 웨이퍼 공정 기술, 리소그래피·나노 임프린트 리소그래피(NIL) 및 계측기기를 포함한 주요 제품 외에도 포토 레지스트 코터, 웨이퍼 세정장비 및 검사 시스템을 제조 생산하고 있다. 1980년 설립된 EVG는 글로벌 고객들과 파트너들을 위한 서비스와 협력 지원을 위해 정교한 네트워크를 구축해 놓고 있다. EVG에 대한 더 자세한 정보는 공식 홈페이지에서 확인할 수 있다.

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출처:EVG

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