반도체 생산 핵심 '초순수' 국산화

수자원공사 내년까지 추진

내년까지 반도체 생산 공정의 핵심인 '초순수' 기술의 설계·시공·운영 전반에 걸친 국산화가 이뤄진다.

16일 한국수자원공사(K-water)에 따르면 공사는 오는 2025년까지 경북 구미의 SK실트론 내 위치한 '초순수 실증플랜트'를 통해 초순수 설계·시공·운영에 대한 국산화를 추진한다. 반도체 생산과정의 필수 원료인 '초순수'는 초미세회로로 구성된 반도체 표면에서 각종 부산물, 오염물 세척 등 반도체 제작 공정 전반에 사용된다. 불순물이 거의 없는 상태를 유지해야 하는 최고난도 수처리 기술이다.

반도체용 해외 초순수 시장은 지난 2020년 약 20조원에서 올해 약 23조원 규모로 성장했다. 국내 물기업의 경우 반도체용 초순수 분야 시공·운영에 일부 참여하고 있지만, 인프라 설계·시공·운영 전반에 걸쳐 일본, 유럽연합(EU) 등 해외 기업에 의존하고 있다.

이에 공사는 지난 2011년부터 중소기업 등과 협력해 파일럿플랜트(시험 설비)를 설치·운영하는 등 자체 연구를 통해 초순수 생산 국산화를 위해 노력해왔다.

공사는 지난 2021년 11월 환경부, 한국환경산업기술원과 함께 경북 구미의 SK실트론 내 '초순수 실증플랜트' 건립에 착수했다.

실증플랜트는 하루 2400t의 초순수 생산을 목표로 외국산 장비를 활용하는 1단계와 국산 장비를 사용하는 2단계로 나뉜다. 이를 통해 오는 2025년까지 초순수의 설계·시공·운영 전반에 걸친 국산화를 추진할 계획이다.

공사 관계자는 "이 사업을 통해 초순수의 설계·운영 기술 100%, 시공 기술 및 핵심 기자재 70%의 국산화가 가능할 것"이라고 말했다.

한편, 환경부는 오는 2030년까지 미국, 일본 등 초순수 기술 선진국과 기술격차 극복을 위해 첨단전략산업 특화단지와 연계한 '초순수 플랫폼센터'를 조성할 계획이다.