[단독] “그 어렵다는 걸 K중기가 해냈다”…일본이 수출막자 국산화 성공

극자외선 노광공정용 포토레지스트 소재
99.999% 초고순도 확보 및 친환경 달성
美·日 등서 수입대체효과 年1조원 기대

재원산업 여수 공장 [사진 = 연합뉴스]

한국이 일본으로부터 100% 수입에 의존해 왔던 반도체 초미세 공정의 핵심 소재를 국내 중견기업이 국산화해 삼성전자에 납품한다.

8일 반도체 업계에 따르면 국내 중견기업인 재원산업이 생산한 고순도·친환경 ‘프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세트산’(PGMEA)이 최근 삼성전자의 품질 테스 트를 통과해 오는 3월부터 본격적인 납품에 들어간다. 지난 2019년 일본 정부가 한국 반도체 산업에 타격을 주기 위해 수출 규제를 단행했던 극자외선(EUV) 노광 공정용 포토레지스트(PR)의 핵심 원료를 한국 기업이 자체 개발해 삼성전자의 최종 품질 승인을 획득한 것은 이번이 처음이다.

심재원 재원산업 대표는 “전량 수입에 의존하던 핵심 용제의 국산화와 삼성전자의 품질 승인으로 국내 반도체·디스플레이 제조사의 공급망 불안정 해소와 생산 안정화에 기여하게 됐다”며 “국내뿐만 아니라 다수의 해외 고객사로부터 공급 요청을 받고 있다”고 말했다.

PGMEA는 불화수소, 불화폴리이미드와 함께 일본이 5년 전 한국에 대해 수출규제 카드를 꺼냈던 EUV용 포토레지스트 원료의 70~80%를 차지하는 주요 용제(솔벤트)다. 반도체, 액정표시장치(LCD), 유기발광다이오드(OLED) 같은 전자제품은 물론 페인트나 접착제 생산에도 사용한다. EUV용 포토레지스트는 JSR, 신에츠, TOK 같은 일본 기업이 주도하고 있고, 원료인 PGMEA는 다우, 라이온델바젤을 비롯한 몇몇 글로벌 화학기업만 자체 기술을 보유하고 있다.

재원산업은 현재 연산 3만t 규모 초고순도 PGMEA 생산시설을 갖췄다. 오는 3월부터 삼성전자 1차 협력사인 동진쎄미캠에 공급돼 신너로 만들어진 뒤 삼성전자의 반도체 공정에 본격 투입할 전망이다. 현재 생산 규모를 감안할 때 납품금액은 760억원으로 추정된다. 한국이 일본에서 수입하는 PGMEA는 연간 1조원 어치에 달한다. 국산화 성공에 따라 매년 1조원 규모 수입 대체와 추가적인 수출 효과가 있을 것으로 기대된다. 심 대표는 “PR 소재뿐만 아니라 반사방지막(BARC)까지 활용도가 다양한 초고순도 PGMEA의 품질력을 더욱 높여 시장을 선점해 나갈 것”이라고 밝혔다.

1987년 설립한 재원산업은 반도체·디스플레이 공정용 세정제와 2차전지 제조에 필요한 각종 용매를 생산하고 있다. 2018년 초고순도 PGMEA 개발에 착수해 2022년 국내 최초로 99.999%(5N)급 초고순도 제품 개발에 성공했다. 환경·사회·지배구조(ESG) 경영 강화 흐름 속에서 인체 유해물질 관리와 대체재 탐색에 촉각을 세워온 삼성전자의 눈높이를 충족했다는 분석이다.