세계 1위 반도체 장비 어플라이드, 오산에 R&D센터 만든다

세계 최대 반도체 장비 회사인 어플라이드머티어리얼즈가 경기도 오산에 연구개발(R&D)센터를 세운다. 부지 매입과 건설 허가를 받은 것으로 확인됐다. 램리서치, 도쿄일렉트론(TEL)에 이어 어플라이드, ASML까지 한국에 세계적 반도체 장비사들이 집결하고 있다.

어플라이드는 한국 R&D센터 설립을 위해 경기도 오산 가장동 157-1번지에 위치한 1만7938㎡(5426평) 부지를 매입했다. 주체는 어플라이드가 국내 R&D를 위해 신설한 어플라이드머티어리얼즈코리아이노베이션앤테크놀로지다. 어플라이드는 센터에서 전자빔(e빔)·식각·증착 등 반도체 장비 최소 20대 이상을 가동하고, 국내에서 100명 이상 연구 인력을 채용할 것으로 알려졌다.

어플라이드머티어리얼즈는 지난해 11월 대원물산으로부터 한국 R&D센터를 짓기 위한 오산시 부지를 최종 매입했다.

어플라이드는 지난 2022년 7월 산업통상자원부, 경기도와 한국 R&D센터 건설을 위한 양해각서(MOU)를 체결했다. 회사는 이후 한국 본사가 위치한 성남을 비롯해 용인, 수원, 화성 등 경기 지역에서 폭넓게 부지를 물색하다 최종적으로 오산을 선택했다.

R&D센터 부지는 행정 구역상으로 오산 시내이나 지리적으로는 화성과 경계에 위치한다. 고객사인 삼성전자·SK하이닉스 반도체 공장과 접근성 등 지리적 이점을 최우선적으로 고려한 것으로 풀이된다.

실제로 주요 반도체 공장과 거리는 삼성전자 기흥공장 12㎞·화성공장 9.8㎞·평택공장 19㎞, SK하이닉스 이천공장 56㎞ 등이다. 삼성전자와 SK하이닉스 신규 공장이 각각 들어설 용인 첨단 반도체 국가산업단지(19㎞)와 용인 반도체 클러스터(49㎞)와도 가깝다. 부지는 정부가 지난해 11월 발표한 신규 택지지구 세교3지구 내 위치해 주변 도로 등도 재정비될 예정이다.

건축 허가를 받은 만큼 R&D센터 착공은 초읽기로 보인다. 어플라이드는 기존 건축물이 철거된 부지를 매입했다. 기반 공사 등을 거쳐 공사를 시작할 수 있는 상황이다.

어플라이드가 매입한 경기도 오산시 가장동 157-1번지에 위치한 한국 R&D센터 부지. 기존 건물은 철거된 상황이다. (사진=박진형 기자)

어플라이드가 센터를 가동하게 되면 한국에서 연구개발을 수행하게 돼 파급효과가 상당할 전망이다. 최신 장비는 물론 아직 출시되지 않은 신장비까지 한국에서 테스트하고 반도체 개발에 활용할 수 있어 차세대 공정 기술과 제품 개발에 유용할 것으로 예상된다. 국내 투자 및 R&D 인력 채용에 따른 일자리 창출 효과도 기대된다.

업계 한 관계자는 “어플라이드가 R&D를 세우면 이미 센터를 운영 중인 램리서치와 TEL에 이어, 최근 삼성전자와 공동연구소 설립 계획을 밝힌 ASML까지 글로벌 반도체 장비 기업 톱4가 모두 국내 R&D 거점을 마련하는 것”이라며 “삼성전자와 SK하이닉스가 세계 메모리 반도체 시장에서 기술 초격차를 지속 유지할 수 있는 발판이 될 수 있다”고 말했다.

박진형 기자 jin@etnews.com