뷰웍스, 디스플레이 검사용 ‘통합 광학장치’ 선보여

렌즈·카메라·조명 통합 ‘VEO포커스’ 개발
초정밀 검출력으로 초미세 결함도 잡아내

의료·산업 영상솔루션 기업 뷰웍스(대표 김후식)가 디스플레이·반도체산업 검사장비용 ‘통합 광학장치’를 개발해 선보였다. 고객기업의 요구사양에 맞춰 렌즈·카메라·조명 등 각 파트를 통합해 맞춤형으로 제작할 수 있는 초정밀 검사용 광학장치 ‘VEO포커스’(사진)가 그것이다.

이는 양 산업에서 고사양의 검사장비 수요가 커짐에 따라 자동 초점모듈을 일체화한 통합솔루션을 제공한다고 뷰웍스 측은 밝혔다.

VEO포커스는 고감도 산업용 카메라와 이에 최적화된 고배율 렌즈 및 조명이 조합됐다. 이를 통해 서브마이크로(1㎛ 이하) 수준의 초미세 결함을 검사, 디스플레이·반도체 산업의 생산수율을 극대화한다고 회사 측은 전했다.

활용 분야는 OLED·마이크로LED 디스플레이, 반도체, PCB(인쇄회로기판) 결함검사 등 대면적 고배율 촬영이 요구되는 영역. 디스플레이 검사공정에 투입될 경우 표면의 불균일패턴과 불량화소 검사에 활용된다. PCB 공정에선 서브마이크로 수준의 초미세 회로손상과 핀홀 유무 검사에 활용된다.

VEO포커스는 카메라, 경통과 결합된 렌즈, 조명계, 모션제어부를 포함한 자동초점 모듈, 정밀광학 세팅유닛 총 5종의 부분품으로 구성됐다. 이를 고객사의 요구사양에 맞춰 생산할 수 있다고 뷰웍스 측은 설명했다.

회사 관계자는 “자체 개발한 자동초점 모듈을 결합해 PC 같은 별도의 영상처리장치 없이도 초당 최대 3000회까지 촬영한다. 실시간 피사체의 위치변화를 계산해 정확한 이미지를 획득할 수 있게 한다”며 “고성능 TDI(Time Delayed Integration·시간차 통합) 라인스캔 카메라 ‘VTDI’와 이에 최적화된 렌즈 ‘VEO’의 결합으로 전체 검사영역에서 고화질의 영상 획득이 가능하다”고 소개했다.

이어 “0.3~0.4㎛ 수준의 극도로 미세한 결함까지 감지할 수 있으며, 조명계를 결합해 촬영대상의 시인성을 한층 더 높였다”며 “반도체, 고집적PCB, 디스플레이 검사장비 시장에서 기술우위를 다질 것으로 기대한다”고 했다.

freiheit@heraldcorp.com