SK하이닉스 '재사용 CMP 패드' 개발 [숏잇슈]

SK하이닉스가 최근 화학적기계연마(CMP) 패드 재사용 기술을 개발했다. 삼성전자가 세계 최초 재사용 CMP 패드를 양산 라인에 적용한 데 이어 SK하이닉스도 재사용 기술을 개발해 비용 절감과 ESG 경영 강화에 나섰다.

SK하이닉스 C&C제조기술팀은 최근 자체적으로 CMP 패드 재활용 기술을 개발했다. 내년부터 위험도가 낮은 공정부터 재사용 CMP 패드를 적용해 순차적으로 확대할 방침이다.

CMP 패드는 반도체 웨이퍼를 평탄하게 할 때 쓰는 소모성 제품으로, 웨이퍼 균일도를 확보하기 위한 필수 소재부품이다. 국내 반도체 제조 업계에서는 약 70%를 듀폰 등 외산 제품을 사용하고 있는 상황이다. 해외 의존도가 높아 이를 국산화하는 것이 반도체 업계 과제였다.

SK하이닉스는 CMP 패드 표면 패턴 재구성 방법으로 접근해 재사용 패드 기술을 확보하게 됐다. 재사용 CMP 패드 국산화를 통해 비용 절감뿐 아니라 친환경 반도체 공정도 구현할 수 있다.

SK하이닉스는 해당 기술뿐 아니라 폐기 CMP 패드에서 원재료와 원료를 추출하는 방식으로 기술 고도화에 나설 예정이다.

※[숏잇슈]는 'Short IT issue'의 준말로 AI가 제작한 숏폼 형식의 뉴스입니다.

권동준 기자 djkwon@etnews.com