ASML, 3500억원짜리 하이NA EUV 노광장비 인텔에 공급

ASML이 최첨단 반도체 양산에 필요한 하이NA 극자외선(EUV) 노광장비 첫 제품을 인텔에 공급했다.

삼성전자와 TSMC 등 세계 주요 반도체 업체들이 ASML의 첨단 장비를 공급받기 위해 기다리는 상황이다.

블룸버그통신은 22일(현지 시각) ASML이 최신 반도체 제조 장비의 첫 주요 부품을 미국 오리건주에 있는 인텔의 D1X 공장으로 배송했다고 익명의 소식통을 인용해 보도했다.

팻 겔싱어 인텔 최고경영자(CEO)는 인텔이 이 첨단 장비를 가장 먼저 도입할 것이라고 밝히며 반도체 제조 분야에서 선두로 복귀하겠다는 의지를 드러낸 바 있다.

ASML은 반도체 제조업체들이 자사 장비에 대한 의존도를 높이기 위해 신기술이 적용된 장비를 출시하고 있다.

인텔은 오는 2025년에 이 새 장비를 활용해 반도체를 생산할 계획이다. D 1X 공장은 인텔의 미래 생산 기술을 개발하는 시설이다.

ASML은 EUV 노광장비 분야 세계 최고 제조업체다. 삼성전자와 TSMC, 인텔 등이 최첨단 반도체를 만들기 위해서는 ASML의 장비를 써야 한다.

ASML은 21일 소셜 미디어 X에 올린 게시물에서 “인텔에 첫 번째 하이 NA EUV 시스템을 출하하게 돼 기쁘고 자랑스럽다”고 밝혔다.

업계에서는 트윈스캔 EXE:5200으로 불리는 ASML의 이번 노광장비 첫 번째 모델 가격은 약 2억7500만달러(약 3580억원)일 것으로 추정한다.

현재 나와 있는 ASML의 최고급 장비 가격은 약 1억8000만달러(약 2343억원) 수준이다.

조선비즈