아주대·인천대 공동연구팀, 전자현미경 코팅장비 개발…기술이전

총 11억7500만원 규모로 씨엔원에 전수

[수원=뉴시스] 박종대 기자 = 아주대 오일권 교수(지능형반도체공학과·전자공학과)와 인천대 이한보람 교수(신소재공학과) 공동 연구팀이 전자현미경 측정을 위한 코팅 장비 및 공정 기술을 개발해 관련 기업에 기술이전했다. 기술이전 규모는 총 11억7500만원이다.

이번에 개발한 기술은 주사전자현미경(SEM) 및 투과전자현미경(TEM)의 선명한 측정을 위한 3차원 전도성 코팅 방법이다. 이는 전자현미경 활용을 위한 전처리 장비의 핵심이다.

특히 100도 이하의 저온에서 샘플 표면에 전도성금속 박막을 형성할 수 있는 원자층 증착공정을 이용해 미세한 요철이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성 박막을 매우 얇고 균일하게 코팅할 수 있게 한다.

반도체 원자층증착은 원자층을 쌓아 올려 막을 만드는 적층 방식으로, 반도체 집적도를 높이기 위한 궁극의 기술로 주목받고 있다.

해당 기술은 반도체 연구 장비를 생산하고 있는 기업 씨엔원(CN1)으로 이전됐다. 씨엔원은 반도체 원자층 증착연구 장비를 생산하는 반도체·디스플레이 전문 장비회사로, 국내 대학 및 연구기관과 삼성전자 등의 대기업에 장비를 공급해왔다.

오일권 아주대 교수는 "이번에 개발한 기술을 활용하면 기존 방식의 코팅 기술로는 만들기 어려웠던 새로운 방식의 측정 샘플을 제작할 수 있다"며 "새로운 패러다임의 반도체 기술 개발을 위한 신시장이 창출될 것으로 본다"고 말했다.

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