아주대, 전자현미경 기술 기업에 이전…11.7억 규모

오일권 교수, 이한보람 인천대 교수팀과 공동 연구
“전자현미경의 3차원 전도성 코팅 방법 기업 이전”

[이데일리 신하영 기자] 아주대 연구진이 차세대 반도체 측정을 위한 전자현미경 관련 기술을 기업에 이전했다. 기술 이전은 대학이 보유한 원천기술을 사업화하기 위해 기업에 전수하는 것을 뜻한다. 이번 기술이전 규모는 총 11억7500만원이다.

사진=아주대 제공

아주대는 오일권(사진) 지능형반도체공학과 교수팀이 이한보람 인천대 신소재공학과 교수팀과 공동 개발한 전자현미경의 3차원 전도성 코팅 방법을 기업에 이전했다고 20일 밝혔다.

연구팀이 개발한 기술은 전자현미경 활용을 위한 전처리 장비의 핵심 기술이다. 이 기술은 100℃ 이하의 저온에서 샘플 표면에 전도성금속 박막을 형성할 수 있는 원자층 증착 공정(ALD)을 이용, 미세한 요철이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성 박막을 매우 얇고 균일하게 코팅할 수 있게 한다.

이에 전자현미경 측정 시 샘플 표면의 변질이나 이미지 왜곡이 없는 선명한 현미경 이미지를 얻을 수 있다. 또한 고온 처리가 필요 없어 열로 인한 샘플 손상의 우려가 없다는 장점을 가진다.

반도체 원자층증착(ALD)은 원자층을 쌓아 올려 막을 만드는 적층 방식이다. 반도체 집적도를 높이기 위한 궁극의 기술로 주목받고 있다.

오일권 교수팀이 개발한 기술은 반도체 연구 장비를 생산하고 있는 기업 씨엔원(CN1)으로 이전됐다. 씨엔원은 반도체 원자층증착(ALD) 연구 장비를 생산하는 반도체·디스플레이 전문 장비 회사다. 국내 대학·연구기관과 삼성전자 등의 대기업에 장비를 공급하고 있다. 2008년 설립돼 주로 반도체 양산 전 단계의 R&D 시장을 공략해왔으며, 반도체뿐 아니라 2차전지 등으로 사업 영역을 확장하고 있다.

오일권 아주대 교수는 “이번에 개발한 기술을 활용하면 기존 방식의 코팅 기술로는 만들기 어려웠던 새로운 방식의 측정 샘플을 제작할 수 있다”며 “새로운 패러다임의 반도체 기술 개발을 위한 신시장이 창출될 것으로 본다”고 했다.

아주대는 “기술이전은 대학 내 연구진이 발명한 특허, 프로그램, 노하우 등을 기업에서 활용할 수 있도록 전수하는 과정을 말한다”며 “아주대는 지난 3년간 기술사업화 수입 107억2000만원(178건)을 기록하는 등 꾸준한 성과를 내고 있다”고 밝혔다.

신하영 (shy1101@edaily.co.kr)