'슈퍼을' ASML도 온다…반도체 장비 '3대장' R&D 거점 된 한국

美 AMAT, R&D 부지 선정 임박…네덜란드 ASML은 화성·美 램리서치는 용인
주요 고객 삼성전자·SK하이닉스 수요 대응 수월…미중 갈등 국면서 韓과 공조 강화도

윤석열 대통령과 빌럼 알렉산더르(Willem Alexander) 네덜란드 국왕이 12일(현지시간) 벨트호벤 반도체 장비기업 ASML 본사에서 열린 한-네덜란드 첨단반도체 협력 협약식에서 경계현 삼성전자 사장과 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML 회장의 차세대 반도체 제조기술 R&D센터 설립 MOU 체결을 지켜보며 손뼉치고 있다. (대통령실 제공) 2023.12.13/뉴스1 ⓒ News1 안은나 기자

(서울=뉴스1) 김민성 기자 = 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 삼성전자와 함께 국내에 연구·개발(R&D) 센터를 짓기로 하면서 글로벌 반도체 장비업체 '빅3'(AMAT, ASML, 램리서치)의 R&D 시설이 모두 국내에 들어서게 됐다.

반도체 장비업체 입장에선 삼성전자, SK하이닉스 등 매출의 25% 가량을 차지하는 주요 고객사 수요에 적극적으로 대응하기 위한 전략적 투자다. 미중 갈등 상황에서 중국 반도체 업체들과 협력을 확대하기 어려운 만큼 삼성전자(005930)·SK하이닉스(000660)와 공조를 강화하려는 의도도 담겨 있다.

16일 업계에 따르면 반도체 장비 시장 1위인 미국 어플라이드 머티어리얼즈(AMAT)는 내년 중 경기 남부 지역에 R&D 센터 부지를 확정지을 계획이다.

AMAT는 매출 28조원 규모 글로벌 반도체 장비 회사다. 반도체 웨이퍼 제조를 위한 전공정 핵심 장비를 만드는 반도체 장비 분야 세계 1위다. 지난해 경기도와 R&D 센터 건립 업무협약(MOU)을 맺은 바 있다.

극자외선(EUV) 노광장비를 유일하게 공급하는 ASML도 삼성전자와 손잡고 1조원을 투자해 경기 화성시 동탄에 공동 R&D 센터를 짓기로 했다. 이번 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈방문을 계기로 성사된 '반도체 동맹'의 성과다.

삼성전자 입장에선 글로벌 파운드리(반도체 위탁생산) 강자인 대만 TSMC를 넘어서기 위해 초미세 반도체 가공 장비 등의 뒷받침이 필요한데, 해당 장비 공급을 독점하고 있는 ASML과 결속을 다지는 효과가 기대된다. 경계현 삼성전자 사장은 전날(15일) 네덜란드 방문 귀국길에 기자들과 만나 "동탄에 공동 연구소를 짓고 하이 NA EUV(극자외선) 노광장비를 들여와 ASML 엔지니어와 삼성의 엔지니어가 함께 기술개발하는 게 주목적"이라고 말했다.

업계 3위인 미국 램리서치도 지난해 4월 경기 용인시 지곡동에 3만㎡ 규모의 종합 R&D 시설 '코리아테크놀로지 센터'를 설치했다. 이곳은 미국, 유럽 연구소와 함께 램리서치 R&D의 글로벌 주요 거점으로 활용되고 있다.

글로벌 반도체 장비 시장 점유율 70%를 차지하는 이들 업체들이 R&D 센터를 한국에 세우는 것은 삼성전자, SK하이닉스와 시너지를 기대하기 때문이다. 특히 장비 업체로서는 선단공정을 주도하는 삼성전자, SK하이닉스 근처에서 기술을 함께 개발하는 것이 효율적이다. 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 반도체 업체들은 글로벌 반도체 장비 업체 매출의 25%를 차지한다. 해외 장비 업체와 경쟁해 반도체 장비 기술을 확보하고 신규 장비 공급을 늘리기 위해선 R&D 거점으로 한국만큼 좋은 입지는 없다.

미중 기술 패권 갈등 속에서 중국을 제외한 반도체 공조가 강화되는 신호탄이라는 분석도 있다. 양국의 반도체 공급망 협력이 강화되면 미중 갈등 속에서 소재, 장비 공급의 어려움을 겪은 국내 반도체 업체들의 불안도 일부 해소될 것으로 예상된다. 이상원 램리서치 한국법인 대표는 "한국은 절대적으로 전략적으로 중요한 시장인 만큼 상당한 의미를 두고 대규모 투자를 지속할 것"이라고 말했다.

램리서치 코리아테크놀로지센터.(용인시 제공) ⓒ News1 김평석 기자

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